為了滿足大范圍表面粗糙度測量評定的需求,本文介紹了一種基于彩色共聚焦傳感器的差動式非接觸測量評定系統(tǒng)和方法。在所提出的系統(tǒng)中,兩個彩色共聚焦傳感器和一個光學(xué)平晶構(gòu)成差動式測量系統(tǒng),并通過球頭球窩連接方式與機(jī)械運(yùn)動平臺耦合。使用這種差動式結(jié)構(gòu)可以補(bǔ)償機(jī)械運(yùn)動平臺的直線度誤差,并可以有效地提高測量評定精度。在此基礎(chǔ)上,本文建立了表面粗糙度測量、誤差補(bǔ)償和測量性能評估的方法。為了驗證所提出系統(tǒng)的性能,對標(biāo)準(zhǔn)高度臺階量塊和粗糙度量塊進(jìn)行了測量評定實驗。臺階高度的測量實驗結(jié)果表明,在60 mm的行程范圍內(nèi),所提出系統(tǒng)6次重復(fù)測量的標(biāo)準(zhǔn)偏差s為0.16μm,相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD為0.054%,機(jī)械運(yùn)動平臺的直線度誤差得到了有效補(bǔ)償;在測量粗糙度量塊時,粗糙度參數(shù)R_a和R_q的測量誤差分別為0.032μm和0.073μm。所提出系統(tǒng)的粗糙度測量評定能力滿足大多數(shù)工程應(yīng)用的需求。 

【文章來源】：中國光學(xué). 2020年05期 北大核心

【文章頁數(shù)】：12 頁

【參考文獻(xiàn)】：
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本文編號：2949553