為了滿足大范圍表面粗糙度測(cè)量評(píng)定的需求,本文介紹了一種基于彩色共聚焦傳感器的差動(dòng)式非接觸測(cè)量評(píng)定系統(tǒng)和方法。在所提出的系統(tǒng)中,兩個(gè)彩色共聚焦傳感器和一個(gè)光學(xué)平晶構(gòu)成差動(dòng)式測(cè)量系統(tǒng),并通過(guò)球頭球窩連接方式與機(jī)械運(yùn)動(dòng)平臺(tái)耦合。使用這種差動(dòng)式結(jié)構(gòu)可以補(bǔ)償機(jī)械運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的直線度誤差,并可以有效地提高測(cè)量評(píng)定精度。在此基礎(chǔ)上,本文建立了表面粗糙度測(cè)量、誤差補(bǔ)償和測(cè)量性能評(píng)估的方法。為了驗(yàn)證所提出系統(tǒng)的性能,對(duì)標(biāo)準(zhǔn)高度臺(tái)階量塊和粗糙度量塊進(jìn)行了測(cè)量評(píng)定實(shí)驗(yàn)。臺(tái)階高度的測(cè)量實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在60 mm的行程范圍內(nèi),所提出系統(tǒng)6次重復(fù)測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)偏差s為0.16μm,相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD為0.054%,機(jī)械運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的直線度誤差得到了有效補(bǔ)償;在測(cè)量粗糙度量塊時(shí),粗糙度參數(shù)R_a和R_q的測(cè)量誤差分別為0.032μm和0.073μm。所提出系統(tǒng)的粗糙度測(cè)量評(píng)定能力滿足大多數(shù)工程應(yīng)用的需求。 

【文章來(lái)源】：中國(guó)光學(xué). 2020年05期 北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：12 頁(yè)

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于激光散射的表面粗糙度測(cè)量系統(tǒng)研究[J]. 蔡雯,陳培鋒,王英,張恒,王莫,王釔蘇.  激光技術(shù). 2020(05)
[2]基于超聲無(wú)損評(píng)價(jià)的表面粗糙度測(cè)量方法[J]. 韓曉芹,宋永鋒,劉雨,李雄兵.  中國(guó)機(jī)械工程. 2019(08)
[3]隧道施工通風(fēng)壁面粗糙度評(píng)定方法及其工程應(yīng)用[J]. 張恒,孫建春,向芬,王路,涂鵬.  安全與環(huán)境學(xué)報(bào). 2019(01)
[4]三維表面粗糙度測(cè)量方法綜述[J]. 何寶鳳,丁思源,魏翠娥,劉柄顯,石照耀.  光學(xué)精密工程. 2019(01)
[5]微銑金屬表面微溝槽結(jié)構(gòu)的粗糙度及形貌分析[J]. 張金峰,封超,馬蕓慧,唐微,鞏亞?wèn)|.  光學(xué)精密工程. 2018(12)
[6]工件粗糙度在線檢測(cè)的試驗(yàn)研究[J]. 李業(yè)學(xué),張學(xué)林,徐福衛(wèi),李長(zhǎng)江.  實(shí)驗(yàn)力學(xué). 2018(05)
[7]三維表面粗糙度的表征和應(yīng)用[J]. 何寶鳳,魏翠娥,劉柄顯,丁思源,石照耀.  光學(xué)精密工程. 2018(08)
[8]帶鋼表面粗糙度在線檢測(cè)技術(shù)最新進(jìn)展[J]. 瞿雪元,顧廷權(quán),方百友.  電子測(cè)量與儀器學(xué)報(bào). 2017(04)
[9]表面粗糙度激光散射檢測(cè)的多波長(zhǎng)光纖傳感器[J]. 朱南南,張駿.  紅外與激光工程. 2016(05)
[10]雙樹(shù)復(fù)小波穩(wěn)健濾波在工程表面粗糙度評(píng)定中的應(yīng)用[J]. 任志英,高誠(chéng)輝,申丁,林建興.  光學(xué)精密工程. 2014(07)

博士論文
[1]基于色彩信息的機(jī)器視覺(jué)粗糙度檢測(cè)方法研究[D]. 易懷安.湖南大學(xué) 2017

碩士論文
[1]光譜共焦位移傳感器信號(hào)處理與校準(zhǔn)研究[D]. 朱鴻.華中科技大學(xué) 2019
[2]基于機(jī)器視覺(jué)與機(jī)器學(xué)習(xí)的磨削齒面粗糙度測(cè)量研究[D]. 臧俊濤.湖南大學(xué) 2018
[3]基于光纖傳感器的深孔內(nèi)表面粗糙度測(cè)量方法研究[D]. 徐偉.江蘇大學(xué) 2018
[4]三維表面粗糙度測(cè)量與評(píng)定[D]. 齊興華.哈爾濱理工大學(xué) 2017



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