【摘要】：對環(huán)形拋光法加工大小口徑工件面形不一致的問題進行了研究。在0.69 m環(huán)形拋光機上發(fā)現(xiàn),Ф100 mm工件面形微凹時,Ф48 mm工件為峰谷(PV)值0.336λ(λ=632.8 nm)的凸面形。利用Winkler假定和Preston方程對工件的面形進行了研究,發(fā)現(xiàn)傾覆力矩是引起面形不一致的主要原因。對于圓形工件的理論計算結(jié)果表明,當工件和拋光盤之間的摩擦系數(shù)與分離器對工件的作用力合力的高度的乘積大于工件直徑0.125倍時,工件將會變凸。對工件進行了加壓、潤滑和降低工件支撐位置等實驗,發(fā)現(xiàn)加壓不能改善工件面形一致性;在拋光液中添加潤滑劑后一致性有了一定的改善,Ф48 mm工件PV值降為0.128λ;而降低工件支持位置后,大小口徑工件面形不一致性問題得到了解決,Ф48 mm工件PV值降為0.058λ,且變?yōu)槲济妗４私Y(jié)果表明拋光盤與工件的摩擦系數(shù)不能太大,且分離器對工件的支持位置應(yīng)盡量靠進盤面。
[Abstract]:......
【作者單位】： 中國科學院上海光學精密機械研究所高功率激光物理聯(lián)合實驗室;中國科學院大學;
【基金】：中以高功率激光技術(shù)國際合作研究(2010DFB70490)
【分類號】：TG580.692

【參考文獻】

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【共引文獻】

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【二級參考文獻】

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【相似文獻】

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本文編號：2486306