【摘要】：為保證聚焦離子束(FIB)制造微細(xì)零部件或微刀具等的加工表面使用性能和使用壽命,研究了使用FIB技術(shù)加工單晶金剛石超硬材料的亞表層損傷。從粒子碰撞和能量交換兩種角度分析了FIB加工亞表層損傷的形成原理,利用SRIM軟件模擬了FIB加工單晶金剛石的離子轟擊過程,確定了FIB亞表層損傷區(qū)域橫截面半徑,以及亞表層損傷深度。研究表明,理論上FIB加工金剛石靶材,其亞表層損傷截面半徑不超過微米級(jí)零部件特征尺寸的2%,損傷深度不超過1%。
[Abstract]:In order to ensure the surface performance and service life of micro parts or microcutters fabricated by focused ion beam (FIB), the subsurface damage of single crystal diamond superhard materials fabricated by FIB technology was studied. The formation principle of subsurface damage in FIB machining is analyzed from the point of view of particle collision and energy exchange. The ion bombardment process of single crystal diamond machined by FIB is simulated by SRIM software, and the cross section radius of FIB subsurface damage region is determined. And the depth of subsurface damage. The results show that the sub-surface damage section radius and damage depth of diamond target fabricated by FIB are less than 2% and 1%, respectively.
【作者單位】： 燕山大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;燕山大學(xué)車輛工程與能源學(xué)院;
【分類號(hào)】：TG669;TQ163

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本文編號(hào)：2473558