【摘要】：為了解決高精度光學(xué)修形問(wèn)題,進(jìn)行離子束拋光工具的設(shè)計(jì)與性能分析研究。通過(guò)開(kāi)展離子束拋光工具設(shè)計(jì)方法的研究、聚焦離子光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和離子束流特性的分析,進(jìn)行計(jì)算機(jī)仿真研究和中和器一體化設(shè)計(jì);研制聚焦離子光學(xué)系統(tǒng)和中和器,并采用15mm和10mm的聚焦離子光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行修形加工實(shí)驗(yàn),將口徑150mm的熔石英平面鏡從初始面形誤差RMS15.58nm修正到RMS0.79nm。結(jié)果證明了聚焦離子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的有效性,一體化離子束拋光工具具有亞納米精度的修形能力。
[Abstract]:In order to solve the problem of high precision optical shape modification, the design and performance analysis of ion beam polishing tools are carried out. Through the research of ion beam polishing tool design method, focusing ion optical system structure design and ion beam characteristics analysis, computer simulation research and neutralizer integration design are carried out. Focusing ion optical system and neutralizer are developed and modified by focusing ion optical system of 15mm and 10mm. The fused quartz plane mirror of aperture 150mm is modified from RMS15.58nm to RMS0.79nm.. The results show that the design of focused ion optical system is effective, and the integrated ion beam polishing tool has the ability of sub-nano precision modification.
【作者單位】： 國(guó)防科技大學(xué)機(jī)電工程與自動(dòng)化學(xué)院;超精密加工技術(shù)湖南省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(91323302;61505259)
【分類(lèi)號(hào)】：TG664

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本文編號(hào)：2460504