發(fā)布時(shí)間：2019-01-26 19:06

【摘要】：通過直流磁控濺射法制備純鈦薄膜,使用X射線衍射儀、掃描電鏡和透射電鏡對(duì)其進(jìn)行分析表征。采用納米壓痕技術(shù)分別測(cè)試其應(yīng)變速率在0.005~0.1 s~(-1)時(shí)對(duì)應(yīng)的硬度大小。通過計(jì)算得到應(yīng)變速率敏感性指數(shù)和激活體積,分析得到納米晶鈦起主導(dǎo)作用的塑性變形機(jī)制為位錯(cuò)和晶界的相互作用。
[Abstract]:Pure titanium thin films were prepared by DC magnetron sputtering and characterized by X-ray diffractometer, scanning electron microscope and transmission electron microscope. The hardness of the nanoindentation was measured at a strain rate of 0.005 ~ (0.1) s ~ (-1). By calculating the strain rate sensitivity index and activation volume, the plastic deformation mechanism of nanocrystalline titanium is analyzed, which is the interaction between dislocation and grain boundary.
【作者單位】： 上海理工大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;上海理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;
【分類號(hào)】：TG146.23

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