【摘要】：采用直流反應(yīng)磁控濺射技術(shù)在M2高速鋼基片上制備了不同Mo含量的Cr Mo N復(fù)合涂層,研究了Mo含量的變化對(duì)Cr Mo N復(fù)合涂層成分、相結(jié)構(gòu)、化學(xué)價(jià)態(tài)、截面形貌、顯微硬度和摩擦性能等的影響.結(jié)果表明,隨著Mo含量的增加,Cr Mo N復(fù)合涂層的相結(jié)構(gòu)先轉(zhuǎn)變?yōu)橐詅cc-Cr N相為基礎(chǔ)的(Cr,Mo)N置換式固溶體,后轉(zhuǎn)變?yōu)橐詅cc-g-Mo2N相為主的混合相,當(dāng)Mo含量為69.3%(原子分?jǐn)?shù))時(shí),伴有少量的bcc-Mo相生成;Cr Mo N復(fù)合涂層的顯微硬度先增加后降低,在Mo含量為45.4%時(shí)具有最高值;當(dāng)Mo含量大于45.4%時(shí),在與對(duì)磨副摩擦過(guò)程中會(huì)生成大量的Mo O3相,降低了摩擦系數(shù)和磨損率.
[Abstract]:Cr Mo N composite coatings with different Mo content were prepared on M2 high speed steel substrates by DC reactive magnetron sputtering technique. The composition, phase structure, chemical valence state and cross section morphology of Cr Mo N composite coatings were studied. Effects of microhardness and friction properties. The results show that with the increase of Mo content, the phase structure of, Cr Mo N composite coating is firstly transformed into (Cr,Mo) N-substituted solid solution based on fcc-Cr N phase, and then into a mixed phase based on fcc-g-Mo2N phase. When the Mo content is 69.3% (atomic fraction), a small amount of bcc-Mo phase is formed. The microhardness of Cr Mo N composite coating increases first and then decreases, and has the highest value when the content of Mo is 45.4%. When the Mo content is greater than 45.4, a large number of Mo O3 phases will be formed during friction with the pair, which reduces the friction coefficient and wear rate.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院金屬研究所;
【基金】：國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目2012CB625100 國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目51171197 遼寧省自然科學(xué)基金項(xiàng)目2013020132和2013010442-401資助~~
【分類號(hào)】：TG174.4

【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2346846