【摘要】：如何合理有效地評價光學(xué)晶體微結(jié)構(gòu)表面質(zhì)量,是目前光學(xué)元件精密制造與應(yīng)用領(lǐng)域面臨的重要問題�；诜中卫碚�,采用三維和二維盒計數(shù)方法對藍(lán)寶石單晶磨削表面形貌進(jìn)行了分析,結(jié)果表明磨削表面的三維分形維數(shù)Ds與表面粗糙度呈反比關(guān)系,而且三維分形維數(shù)越高表面紋理越精細(xì),三維分形維數(shù)越低表面缺陷越多。磨削表面截面輪廓的二維分形維數(shù)DL分布規(guī)律可以反映材料去除方式的變化。當(dāng)二維分形維數(shù)DL沿磨削方向呈強(qiáng)對稱分布時,該磨削表面為延性域去除;若呈弱對稱性或不規(guī)則分布,則該磨削表面為脆性域去除。研究證實了分形方法不僅可用于綜合表征藍(lán)寶石磨削表面形貌,還可用于揭示藍(lán)寶石磨削表面的材料去除機(jī)理。
[Abstract]:How to evaluate the surface quality of optical crystal microstructures reasonably and effectively is an important problem in the field of precision manufacturing and application of optical elements. Based on fractal theory, the surface morphology of sapphire single crystal grinding is analyzed by using three-dimensional and two-dimensional box counting methods. The results show that the 3D fractal dimension Ds of the grinding surface is inversely proportional to the surface roughness. The higher the 3D fractal dimension is, the more fine the surface texture is, and the lower the 3D fractal dimension is, the more surface defects are. The two-dimensional fractal dimension DL distribution law of grinding surface cross-section profile can reflect the change of material removal mode. When the two-dimensional fractal dimension (DL) is distributed symmetrically along the grinding direction, the grinding surface is ductile domain removed, and if it is weakly symmetric or irregular, the grinding surface is brittleness domain removed. It is proved that fractal method can be used not only to characterize the surface morphology of sapphire grinding, but also to reveal the material removal mechanism of sapphire grinding surface.
【作者單位】： 北京理工大學(xué)先進(jìn)加工技術(shù)國防重點(diǎn)學(xué)科實驗室;秋田縣立大學(xué)系統(tǒng)科學(xué)技術(shù)學(xué)部;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51205024) 國家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃(973計劃,2015CB05990)資助項目
【分類號】：TG58

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前3條

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：2331907