本文選題：金屬材料 + NiPt合金靶材��； 參考：《貴金屬》2015年04期

【摘要】：采用熔煉、均勻化退火處理及溫軋技術(shù)制備出NiPt合金靶材。采用金相、掃描電鏡(SEM)、X射線衍射(XRD)等手段對NiPt合金在制備過程中的結(jié)構(gòu)變化進(jìn)行了研究。同時也研究了靶材結(jié)構(gòu)與靶材濺射后表面形貌之間的關(guān)聯(lián)性。研究表明,均勻化處理對NiPt合金獲得擇優(yōu)取向具有明顯影響,合金經(jīng)過鑄造、均勻化、軋制等工藝,其硬度分別為292、218、439,可分別形成(200)織構(gòu)、(311)織構(gòu)、(200)+(220)織構(gòu)。靶材微觀結(jié)構(gòu)與濺射后表面形貌均勻性具有關(guān)聯(lián)性。
[Abstract]:NiPt alloy targets were prepared by melting, homogenizing annealing and warm rolling. The structural changes of NiPt alloy during the preparation process were studied by means of metallography, SEM and X-ray diffraction (XRD). The relationship between target structure and surface morphology after sputtering was also studied. The results show that homogenization treatment has an obvious effect on the preferred orientation of NiPt alloy. After casting, homogenization and rolling, the hardness of NiPt alloy is 292218439, respectively. The microstructure of target is related to the homogeneity of surface morphology after sputtering.
【作者單位】： 貴研鉑業(yè)股份有限公司稀貴金屬綜合利用新技術(shù)國家重點實驗室昆明貴金屬研究所云南省貴金屬材料重點實驗室;
【基金】：云南省對外科技合作計劃項目(2014IA037) 云南省戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展專項資金項目
【分類號】：TG146.15;TN305

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號：2032341