本文選題：陣列光纖組件端面 + 化學(xué)機(jī)械拋光��； 參考：《表面技術(shù)》2015年04期

【摘要】：目的設(shè)計(jì)合理的拋光工藝方案,獲得平整的陣列光纖組件端面。方法采用單因素實(shí)驗(yàn)法研究拋光工藝參數(shù)對(duì)陣列光纖表面粗糙度與光纖凸起量的影響,利用光學(xué)表面輪廓儀與掃描電鏡進(jìn)行分析與觀察。結(jié)果在拋光液磨粒質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2%,拋光液流量為15 m L/min,拋光壓力為50 k Pa,拋光盤(pán)轉(zhuǎn)速為30 r/min的條件下,可以獲得平整的陣列光纖組件端面。結(jié)論應(yīng)用化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)加工陣列光纖組件,并設(shè)計(jì)合理工藝方案,可獲得平整的陣列光纖組件端面,其表面粗糙度可低至42.6 nm,光纖凸起值可低至0.14μm。
[Abstract]:Objective to design a reasonable polishing process to obtain flat fiber array components. Methods single factor experiment was used to study the effect of polishing process parameters on the surface roughness and bulge of optical fiber array. The optical surface profilometer and scanning electron microscope were used to analyze and observe. Results when the abrasive mass fraction of the polishing fluid is 2, the polishing fluid flow is 15 mL / min, the polishing pressure is 50 kPaand the rotating speed of the polishing disc is 30 r/min, the flat end surface of the fiber optic array assembly can be obtained. Conclusion using the chemical mechanical polishing technology to process the fiber array assembly and to design a reasonable process scheme, the flat end surface of the array optical fiber assembly can be obtained. The surface roughness can be as low as 42.6 nm and the raised value of the optical fiber can be as low as 0.14 渭 m.
【作者單位】： 中南大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51275534) 湖南省自然科學(xué)基金(2015JJ2153)~~
【分類(lèi)號(hào)】：TG175

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2030841