本文選題：聚焦離子束 + 庫爾特原理　； 參考：《納米技術(shù)與精密工程》2015年06期

【摘要】：庫爾特原理是微粒檢測的一種標(biāo)準(zhǔn)技術(shù),而微納尺度微孔的制造是庫爾特原理的關(guān)鍵部分.本文采用聚焦離子束(FIB)技術(shù)進行固態(tài)微孔的加工,并自行設(shè)計搭建基于FPGA的測試平臺對加工出的微孔進行檢測.測試結(jié)果表明:采用該技術(shù)加工的固態(tài)微孔能夠產(chǎn)生基準(zhǔn)電流信號,但是基準(zhǔn)信號會隨時間變化,且隨著輸入電壓的變化呈非線性變化.
[Abstract]:The Kurt principle is a standard technique for particle detection, and the fabrication of micro-nano-scale micropores is a key part of the principle. In this paper, focused ion beam technique is used to process solid micropores, and a testing platform based on FPGA is designed to detect the micropores. The test results show that the solid state microholes fabricated by this technique can produce reference current signal, but the reference signal will change with time and nonlinear with the change of input voltage.
【作者單位】： 精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室(天津大學(xué));
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(51275559)
【分類號】：TG669;TB302

【參考文獻】

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【共引文獻】

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本文編號：1929949