本文選題：亞表面損傷層深度 + 固結(jié)磨料研拋　； 參考：《人工晶體學報》2015年11期

【摘要】：建模分析了固結(jié)磨料研拋過程中結(jié)構(gòu)因素與工藝參數(shù)對磨粒切入工件深度的影響;采用BOE分步腐蝕法測量了不同磨料粒徑FAP研拋后K9玻璃、熔石英玻璃亞表面損傷層深度;建立了亞表面損傷層深度與磨粒粒徑之間的相關(guān)關(guān)系。結(jié)果表明:固結(jié)磨料研拋條件下,工件亞表面裂紋層深度與工件特性、研拋墊特性及磨粒尺寸相關(guān);基于平均切深的亞表面損傷層模型與實驗結(jié)果有較好的吻合度。為固結(jié)磨料研拋墊的設(shè)計與工藝參數(shù)的制訂提供了理論依據(jù)。
[Abstract]:The influence of structure factors and process parameters on the depth of abrasive cutting into workpiece was analyzed by modeling and analyzing, and the depth of damage layer on subsurface of fused quartz glass was measured by BOE step corrosion method after FAP polishing with different abrasive particle size. The correlation between the depth of the subsurface damage layer and the particle size was established. The results show that the depth of the crack layer is correlated with the characteristics of the workpiece, the characteristics of the pad and the size of the abrasive particle, and the model based on the average cutting depth is in good agreement with the experimental results. It provides a theoretical basis for the design of bonded abrasive polishing pad and the formulation of process parameters.
【作者單位】： 南京航空航天大學機電學院;
【基金】：國家自然科學基金(51175260,50905086) 航空科學基金(2014ZF52055)
【分類號】：TG580.6

【參考文獻】

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【共引文獻】

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本文編號：1815925