發(fā)布時間：2018-02-22 07:36

  本文關(guān)鍵詞： 藍寶石 鍍鎳金剛石 固結(jié)磨料研磨墊 研磨性能　出處：《硅酸鹽學(xué)報》2015年04期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：金剛石磨粒表面鍍鎳可以增強其與樹脂的結(jié)合力。通過化學(xué)鍍的方法在金剛石磨粒表面鍍覆一層不同包覆率的Ni-P合金層,并制成了固結(jié)磨料研磨墊。采用CP-4型CMP拋光和測試系統(tǒng),分別對藍寶石進行粗研和精研加工,探索不同覆鎳量對固著磨料研磨藍寶石性能的影響。結(jié)果表明:金剛石磨粒表面鍍鎳可以改變其微觀形貌:在實驗范圍內(nèi),隨著金剛石包覆率的增加,摩擦因數(shù)、材料去除率和表面粗糙度呈現(xiàn)先增大后減小的趨勢,其中粗研在包覆率為50%、精研在包覆率30%達到峰值;聲發(fā)射信號呈現(xiàn)先減小后增大的趨勢,其中粗研在包覆率50%、精研在包覆率30%達到谷值;粗研過程對包覆率的要求高于精研過程。
[Abstract]:Nickel plating on diamond abrasive particles can enhance its adhesion to resin. A layer of Ni-P alloy with different coating rates is deposited on diamond abrasive particles by electroless plating. The CP-4 CMP polishing and testing system was used to grind and finish the sapphire, respectively. The effects of different amount of nickel coating on the properties of fixed abrasive sapphire grinding were investigated. The results show that nickel plating on the surface of diamond abrasive particles can change the microstructure of diamond abrasive particles: in the experimental range, the friction coefficient increases with the increase of diamond coating ratio. The material removal rate and surface roughness increased first and then decreased, in which the coarse-cladding rate was 50 and the cladding rate reached its peak value at 30%, the acoustic emission signal showed a tendency of decreasing first and then increasing. The coating rate is 50% for rough grinding and 30% for finishing rate, and the requirement for coating rate in rough grinding process is higher than that in intensive grinding process.
【作者單位】： 南京航空航天大學(xué)機電學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(51175260和51375237) 中央高校基本科研業(yè)務(wù)專項資金項目(NP2012506) 江蘇高校優(yōu)勢學(xué)科建設(shè)工程項目
【分類號】：TQ164;TG73

【參考文獻】

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本文編號：1523879