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光纖接頭V型微槽超精密機床的誤差預估

發(fā)布時間:2017-12-07 23:12

  本文關鍵詞:光纖接頭V型微槽超精密機床的誤差預估


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【摘要】:國際激烈競爭的關鍵就是發(fā)展超精密加工技術等,發(fā)展微電子工業(yè)、光學零件、尖端技術和國防科技等都需要精密和超精密加工技術。當代的超精密工程代表的是現(xiàn)代制造業(yè)技術的前沿,同時也是明天先進制造技術的基礎。光纖接頭V型微槽超精密加工機床主要用于微V溝槽、微柱面槽、導光槽、背光模組及劃片等的超精密加工。超精密機床的誤差預估是一個系統(tǒng)性的精度分析工具,它的研究起源于20世紀80年代,過去幾十年來一直有研究者對誤差預估的研究方法和理論進行提高和總結。研究光纖接頭V型微槽連接器的超精密加工理論和機床的設計制造,可以準確的分析出機床的加工誤差。本文以光纖接頭V型微槽超精密加工機床為研究對象,對誤差預估的研究方法進行分析,得到機床的加工工件形狀誤差預測值,具體對如下幾個方面進行了研究:介紹了國外高性能超精密加工機床的特點,分析了超精密機床誤差預估國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀,指出了目前超精密機床誤差預估方面的研究特點和存在的不足。對超精密機床誤差預估的流程圖進行詳細的介紹和分析,本文創(chuàng)造性的提出了將蒙特卡羅仿真法運用在光纖接頭V型微槽超精密加工機床的誤差預估上,并詳細介紹了整個模擬加工工件形狀誤差的方法,取得了良好的模擬效果;同時介紹了均方根原則的相關理論,并使用均方根原則法對機床進行了誤差預估。根據(jù)多體系統(tǒng)理論,對光纖接頭V型微槽超精密加工機床進行拓撲結構分析、運動鏈分析并建立機床的誤差模型,使用蒙特卡羅仿真法模擬機床加工工件的形狀誤差;同時,使用均方根原則模擬機床加工工件的形狀誤差。使用激光干涉儀實際測得光纖接頭V型微槽超精密加工機床的各項幾何誤差,并將數(shù)據(jù)進行分析整理得到誤差源的取值范圍,通過計算機軟件進行仿真模擬得到預測的形狀誤差值。最后得到誤差源取值范圍的變化對形狀誤差的影響規(guī)律。
【學位授予單位】:廣東工業(yè)大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2015
【分類號】:TG502.13

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本文編號:1264150

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