爆炸箔沖擊片起爆技術在提高火工品的起爆安全性和瞬時性方面具有明顯的優(yōu)勢,高壓觸發(fā)開關作為起爆回路中的關鍵元件,對沖擊片雷管成功引爆鈍感炸藥有著重要影響,目前爆炸箔起爆回路用高壓開關通常為三電極火花隙開關以及真空開關等,它們的體積較大、不易集成,同時非常昂貴。本文創(chuàng)新地設計了一種新型的高壓開關,此類開關具有平面結構、價格低廉、容易制備等優(yōu)點,而且可以直接集成在爆炸箔起爆裝置中的帶狀銅箔傳輸線上,主要從開關的制備工藝、觸發(fā)極等離子體特性、開關放電性質等方面進行了研究,主要結論如下：（1）借助射頻磁控濺射,應用濕法刻蝕工藝和圖形反轉工藝成功制備出平面固態(tài)單觸發(fā)高壓開關,確定了Cu薄膜沉積、AZ5200光刻膠的最佳工藝參數(shù)。（2）電爆伏安曲線表明,觸發(fā)極Cu橋膜的匹配電容器充電電壓在1500V左右；高速攝影顯示,電爆過程產(chǎn)生的等離子體強度高,最大尺寸大于3000μm；光譜儀采集到的Cu等離子體的發(fā)射譜線清晰而且它們的獨立性相對較好,從發(fā)射光譜的發(fā)展過程可以得到Cu等離子體的存在時間超過了7000ns;利用Boltzmann圖譜法對Cu等離子體電子激發(fā)溫度進行了測量,利用Saha-Eggert公... 

【文章來源】：南京理工大學江蘇省 211工程院校

【文章頁數(shù)】：61 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

爆炸箔起爆裝置組成框圖

沖擊片雷管結構簡圖[#]

三電極觸發(fā)火花間隙開關結構示意

【參考文獻】：
期刊論文
[1]圖形反轉方法制備MEMS器件電極的研究[J]. 彭自求,王軍,袁凱,蔣亞東.  電子器件. 2010(05)
[2]爆炸箔厚度與其電爆性能和沖擊片雷管感度的關系研究[J]. 韓志偉,褚恩義,王可暄,任西,韓克華,錢勇,同紅海.  火工品. 2009(06)
[3]圖形反轉工藝用于金屬層剝離的研究[J]. 陳德鵝,吳志明,李偉,王軍,袁凱,蔣亞東.  半導體技術. 2009(06)
[4]多層含能薄膜的制備及性能表征[J]. 王麗玲,蔣小華,何碧,付秋菠,王亮,朱和平.  火工品. 2009(01)
[5]爆炸箔沖擊片起爆設計參數(shù)研究[J]. 褚恩義,任西,錢勇,同紅海.  火工品. 2008(03)
[6]圖形反轉工藝制作OLED器件的陰極分離器[J]. 王軍,楊剛,蔣亞東,于軍勝,林慧,成建波.  發(fā)光學報. 2007(02)
[7]真空觸發(fā)開關的觸發(fā)能量和延時特性分析[J]. 周正陽,趙純,董華軍,廖敏夫.  真空. 2007(01)
[8]正/負雙層光刻膠厚膜剝離技術[J]. 林立,韋書領,楊春莉,劉理天,程紹椿.  激光與紅外. 2006(04)
[9]高性能真空觸發(fā)開關技術的研究綜述[J]. 廖敏夫,鄒積巖,段雄英,趙純,柏興林.  高壓電器. 2006(01)
[10]平面火花隙三電極開關研制及性能測試[J]. 王桂吉,吳剛,趙劍衡,唐小松,韓梅.  強激光與粒子束. 2006(02)

碩士論文
[1]基于MEMS的4×4微推進陣列制備及性能研究[D]. 陳默.南京理工大學 2010
[2]Al/CuO多層含能橋膜的制備與電爆特性研究[D]. 楊洋.南京理工大學 2010
[3]紫外厚膠深光刻技術研究[D]. 王瑛.長春理工大學 2010
[4]Al/CuO多層可反應性薄膜制備與反應性能研究[D]. 黃道伍.南京理工大學 2009
[5]鋁—氧化銅可反應性膜的制備與性能研究[D]. 董能發(fā).南京理工大學 2008
[6]氧化銅—鋯復合膜的制備與性能表征研究[D]. 崔慶華.南京理工大學 2007
[7]磁控濺射制備Al膜和Cu膜的結構與性能研究[D]. 程丙勛.四川大學 2007
[8]新型沖擊片雷管設計與制作關鍵技術研究[D]. 王雄.國防科學技術大學 2006



本文編號：3078687