鎵基液態(tài)金屬具有很多優(yōu)點(diǎn),例如高電導(dǎo)率、低粘度、低熔點(diǎn)、低毒性等,近年來被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域。特別是,通過在聚二甲基硅氧烷（Polydimethylsiloxane,PDMS）等柔性基底表面進(jìn)行鎵基液態(tài)金屬的圖形化,利用鎵基液態(tài)金屬固有的可延展性,可以制造出各種柔性可延展電子。目前,鎵基液態(tài)金屬圖形化的方法主要包括:微流控注入法、真空填充法、直寫法、激光圖形化法、選擇性潤濕法、鏤空版印刷法等。其中,鏤空版印刷法工藝簡單、通用性好、通量高,但是分辨率相對較低,通常只有200μm左右。為此,本文提出了一種高分辨率的基于預(yù)拉伸的PDMS表面液態(tài)金屬鏤空版印刷方法。首先,將一塊PDMS基底進(jìn)行數(shù)倍的單方向拉伸。接著,將一個(gè)鏤空版覆蓋在PDMS表面,并在鏤空版表面涂覆液態(tài)金屬;部分液態(tài)金屬會穿過鏤空版,在PDMS表面形成線條圖案。然后,去除鏤空版表面多余的液態(tài)金屬。最后,釋放PDMS基底,使其收縮至原始長度,此時(shí)PDMS表面的液態(tài)金屬線條寬度和線條間距便會隨著成數(shù)倍地減小,從而實(shí)現(xiàn)了PDMS表面液態(tài)金屬線條的高分辨率制造。在利用上述方法進(jìn)行PDMS表面液態(tài)金屬圖形化時(shí),遇到了兩個(gè)關(guān)鍵問題。一個(gè)是... 

【文章來源】：大連理工大學(xué)遼寧省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：55 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
1 緒論
    1.1 液態(tài)金屬簡介及其應(yīng)用
    1.2 液態(tài)金屬圖形化方法
        1.2.1 微流控注入法
        1.2.2 真空填充法
        1.2.3 直寫法
        1.2.4 激光圖形化法
        1.2.5 選擇性潤濕法
        1.2.6 鏤空版印刷法
    1.3 本文主要內(nèi)容
2 基于預(yù)拉伸的鏤空版印刷工藝
    2.1 PDMS基底的制備與預(yù)處理
    2.2 液態(tài)金屬線條的圖形化工藝流程
    2.3 紫外-臭氧改性提高結(jié)合力
    2.4 多余液態(tài)金屬的去除
    2.5 小結(jié)
3 液態(tài)金屬圖形化的分辨率
    3.1 優(yōu)化PDMS的拉伸性能
    3.2 PDMS拉伸倍數(shù)與分辨率的關(guān)系
    3.3 鏤空版厚度對分辨率的影響
    3.4 小結(jié)
4 一種基于液態(tài)金屬的柔性應(yīng)變傳感器
    4.1 柔性應(yīng)變傳感器的制作
    4.2 柔性應(yīng)變傳感器的測試
        4.2.1 實(shí)驗(yàn)設(shè)備
        4.2.2 復(fù)雜形變對傳感器的影響
        4.2.3 手指關(guān)節(jié)運(yùn)動監(jiān)測
    4.3 小結(jié)
結(jié)論
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表學(xué)術(shù)論文情況
致謝



本文編號：3413170