微納米結(jié)構(gòu)刻蝕技術(shù)是實(shí)現(xiàn)材料表面功能化再造并拓展其應(yīng)用的重要基礎(chǔ),也是國(guó)際微納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)的重要研究課題。隨著激光技術(shù)的迅猛發(fā)展,飛秒激光憑借超短脈寬和超高峰值功率的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)已被成功應(yīng)用于多種材料表面的高精度結(jié)構(gòu)制備和改性,在微光學(xué)、微機(jī)械和微流體等領(lǐng)域取得了許多創(chuàng)新性進(jìn)展,目前,飛秒激光微納刻蝕技術(shù)已經(jīng)成為先進(jìn)制造和高端制造的重要組成部分。盡管如此,飛秒激光加工過(guò)程中依然存在結(jié)構(gòu)精度嚴(yán)格依賴于光束聚焦等問(wèn)題,這在根本上限制了飛秒激光微納刻蝕技術(shù)的實(shí)用化進(jìn)程�；蛘哒f(shuō),如何解決高精度與高效率之間的矛盾,已成為飛秒激光微納刻蝕技術(shù)的核心問(wèn)題,具有極端重要性和現(xiàn)實(shí)緊迫性。值得慶幸的是,近年來(lái)基于飛秒激光誘導(dǎo)周期表面結(jié)構(gòu)（LIPSS）的亞波長(zhǎng)刻蝕技術(shù)研究為解決上述問(wèn)題提供了新思路,這主要是因?yàn)樵摷夹g(shù)不僅能夠快速形成亞微米甚至納米量級(jí)的結(jié)構(gòu),而且?guī)缀醪皇芗す饩劢箺l件的限制,在高效納米刻蝕方面具有巨大的應(yīng)用潛力。不同于傳統(tǒng)的光與物質(zhì)作用過(guò)程中材料電子的雜亂熱運(yùn)動(dòng),該技術(shù)本質(zhì)上是利用材料表面電子的集體物理響應(yīng)將入射光斑能量調(diào)制為亞波長(zhǎng)量級(jí)上的空間周期性分布。因?yàn)槠渲猩婕肮馀c物質(zhì)相互作用的諸多復(fù)... 

【文章來(lái)源】：中國(guó)科學(xué)院大學(xué)(中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所)吉林省

【文章頁(yè)數(shù)】：142 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：博士

【部分圖文】：

單束線偏振飛秒激光在金屬鎢、鈦、鉬、不銹鋼、鎳和銀表面刻蝕形成的亞波長(zhǎng)周期條紋結(jié)構(gòu)[33,54,58,64,65]

單束線偏振飛秒激光在金屬鎢表面刻蝕形成的亞波長(zhǎng)條紋結(jié)構(gòu)（左）及其空間周期

不同偏振態(tài)（線偏振、徑向偏振、角向偏振、橢圓偏振）的飛秒激光在金屬鎳和銅表面刻蝕形成的亞波長(zhǎng)周期條紋結(jié)構(gòu)[70,71]

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]不同氣壓環(huán)境對(duì)飛秒激光在鉻膜表面誘導(dǎo)周期性條紋結(jié)構(gòu)的影響[J]. 劉琦,張楠,楊建軍.  光子學(xué)報(bào). 2018(07)
[2]超表面上表面等離激元波的光柵衍射行為研究[J]. 王雪飛,盧振武,王泰升,魚(yú)衛(wèi)星.  中國(guó)光學(xué). 2018(01)
[3]飛秒激光誘導(dǎo)鈦表面形成高空間頻率周期條紋結(jié)構(gòu)[J]. 劉凱軍,李曉紅,王凱,周強(qiáng),楊永佳,邱榮.  強(qiáng)激光與粒子束. 2017(04)
[4]矩形塊微納結(jié)構(gòu)材料在紅外波段的偏振光吸收[J]. 黎永前,郭勇君,蘇磊,王斌斌,朱振宇,徐征.  光學(xué)精密工程. 2014(11)
[5]高斯光束經(jīng)衍射光柵的濾波特性研究[J]. 屈文俊,謝卉,胡強(qiáng)高,孫莉萍.  激光技術(shù). 2012(04)
[6]亞波長(zhǎng)金屬偏振分束光柵設(shè)計(jì)分析[J]. 趙華君,楊守良,張東,梁康有,程正富,石東平.  物理學(xué)報(bào). 2009(09)
[7]亞波長(zhǎng)偏振光柵的研究進(jìn)展[J]. 趙華君,袁代蓉,吳正茂.  激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2008(03)
[8]亞波長(zhǎng)金屬光柵偏振器設(shè)計(jì)[J]. 孟凡濤,褚金奎,韓志濤,趙開(kāi)春.  納米技術(shù)與精密工程. 2007(04)
[9]飛秒激光超精細(xì)“冷”加工技術(shù)及其應(yīng)用（續(xù)）[J]. 楊建軍.  激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2004(04)
[10]飛秒激光超精細(xì)“冷”加工技術(shù)及其應(yīng)用（I）[J]. 楊建軍.  激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2004(03)



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