為進(jìn)一步改善氮化鈦涂層的摩擦學(xué)性能,分別采用高劑量Mo離子注入和低溫離子滲硫技術(shù)對(duì)Ti N涂層表面進(jìn)行處理。采用掃描電子顯微鏡（SEM）、光學(xué)形貌儀、掃描俄歇系統(tǒng)（SAM）、X射線衍射儀（XRD）和納米壓痕儀等分析Ti N涂層處理前后的表面形貌、元素分布、微觀結(jié)構(gòu)和納米硬度。利用球盤摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)在干摩擦條件下考察涂層的摩擦學(xué)性能,并利用光學(xué)形貌儀和SEM進(jìn)行磨損表面分析。結(jié)果表明,大劑量Mo離子注入后,Ti N涂層表面Mo離子深度接近200 nm,涂層硬度明顯降低,涂層磨損劇烈程度得到顯著改善,磨損率和摩擦因數(shù)分別降低約35%和40%;低溫離子滲硫復(fù)合處理后,Ti N涂層表面濺射明顯,Mo的深度降低約50%,摩擦學(xué)性能難以進(jìn)一步明顯改善。 

【文章來源】：中國表面工程. 2017,30(02)北大核心

【文章頁數(shù)】：8 頁

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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本文編號(hào)：3029233