PVD涂層技術(shù)制備類金剛石薄膜及性能研究綜述
[Abstract]:The preparation of diamond-like carbon (DLC) coatings by physical vapor deposition (PVD) was introduced. The research status and development prospects of friction wear and adhesion of the coatings were also discussed. The technical development of diamond-like carbon coatings, the methods for preparing diamond-like carbon films and the factors affecting the properties of diamond-like carbon films are analyzed and summarized. The workpiece coated with diamond-like carbon film has high hardness, good thermal conductivity, extremely low friction coefficient, excellent electrical insulation and so on. Diamond-like carbon (DLC Films) film is a kind of metastable material formed by the combination of sp3 and sp2 bond in recent years. It has been widely used in the field of tribology because of its excellent anti-friction and anti-wear properties. DLC coating is a new kind of thin film material with similar properties as diamond coating. The properties of DLC coating are mostly focused on its tribological properties and adhesion properties, and have been widely used in automobile, die and mould as high-quality coating materials. Cutting tools and other fields.
【作者單位】: 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院;
【基金】:上海市聯(lián)盟計(jì)劃資助項(xiàng)目(LM2014235,LM201374,LM201308) 上海市教育委員會科研創(chuàng)新項(xiàng)目(12YZ160) 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院研究生課程建設(shè)基金項(xiàng)目(101YM130007) 上海市大學(xué)青年教師培訓(xùn)項(xiàng)目(ZZyyy12003)~~
【分類號】:TG174.4
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本文編號:2442667
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