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PVD涂層技術(shù)制備類金剛石薄膜及性能研究綜述

發(fā)布時(shí)間:2019-03-17 20:25
【摘要】:介紹了采用物理氣相沉積(PVD)技術(shù)制備類金剛石涂層的方法,進(jìn)而論述了涂層的摩擦磨損和結(jié)合力等性能的研究現(xiàn)狀和發(fā)展前景。分析并綜述了類金剛石涂層的技術(shù)發(fā)展,以及制備類金剛石薄膜的方法和影響其性能的多種要素。表面涂有類金剛石薄膜的工件具有較高的硬度、良好的熱傳導(dǎo)率、極低的摩擦系數(shù)、優(yōu)異的電絕緣性能等。類金剛石薄膜(DLC Films)是近年來興起的一種以sp3和sp2鍵的形式結(jié)合生成的亞穩(wěn)態(tài)材料,因其優(yōu)異的減摩和抗磨性能,在摩擦學(xué)領(lǐng)域獲得了廣泛應(yīng)用,是一種與金剛石涂層性能相似的新型薄膜材料。DLC涂層的性能研究大多集中在它的摩擦學(xué)特性和結(jié)合力性能,并且作為優(yōu)質(zhì)的涂層材料已被廣泛應(yīng)用于汽車、模具、刀具等領(lǐng)域。
[Abstract]:The preparation of diamond-like carbon (DLC) coatings by physical vapor deposition (PVD) was introduced. The research status and development prospects of friction wear and adhesion of the coatings were also discussed. The technical development of diamond-like carbon coatings, the methods for preparing diamond-like carbon films and the factors affecting the properties of diamond-like carbon films are analyzed and summarized. The workpiece coated with diamond-like carbon film has high hardness, good thermal conductivity, extremely low friction coefficient, excellent electrical insulation and so on. Diamond-like carbon (DLC Films) film is a kind of metastable material formed by the combination of sp3 and sp2 bond in recent years. It has been widely used in the field of tribology because of its excellent anti-friction and anti-wear properties. DLC coating is a new kind of thin film material with similar properties as diamond coating. The properties of DLC coating are mostly focused on its tribological properties and adhesion properties, and have been widely used in automobile, die and mould as high-quality coating materials. Cutting tools and other fields.
【作者單位】: 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院;
【基金】:上海市聯(lián)盟計(jì)劃資助項(xiàng)目(LM2014235,LM201374,LM201308) 上海市教育委員會科研創(chuàng)新項(xiàng)目(12YZ160) 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院研究生課程建設(shè)基金項(xiàng)目(101YM130007) 上海市大學(xué)青年教師培訓(xùn)項(xiàng)目(ZZyyy12003)~~
【分類號】:TG174.4

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本文編號:2442667

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