【摘要】：在光學(xué)鍍膜過程中一般會伴隨著100℃以上的高溫,基底與鍍膜夾具通常會產(chǎn)生一些熱應(yīng)力,同時膜層也會產(chǎn)生一定的膜層應(yīng)力,故而鍍膜設(shè)備溫度緩慢上升至指定溫度,保溫數(shù)小時,待鍍膜結(jié)束后緩慢的冷卻至60℃�；妆砻娉霈F(xiàn)裂紋或損壞基本是由熱應(yīng)力造成,為此本文以云南某光電有限公司Φ208mm多光譜ZnS基底鍍制減反膜的鍍膜夾具為研究對象,對ZnS基底和鍍膜夾具的應(yīng)力避免和減小進行了一系列的研究工作,為指導(dǎo)實際生產(chǎn)提供理論依據(jù),主要研究工作如下:(1)對鍍膜夾具幾何配置方式、鍍膜夾具結(jié)構(gòu)和鍍膜夾具材料以膜層厚度均勻性、ZnS基底有效口徑、線膨脹系數(shù)、抗腐蝕性、切削加工性、經(jīng)濟性、公轉(zhuǎn)支架承重能力和夾具存放等為原則進行分析選擇,最終選擇公轉(zhuǎn)軸與自轉(zhuǎn)軸平行的行星旋轉(zhuǎn)夾具的幾何配置方式,通用反吊式鍍膜夾具結(jié)構(gòu),1050合金、2A02合金和2A12合金材料進行有限元模擬仿真。(2)運用Solidedge對Φ208mm多光譜ZnS和三種不同結(jié)構(gòu)的鍍膜夾具進行三維模型的建立,根據(jù)鍍膜過程實際生產(chǎn)工藝設(shè)置前處理參數(shù),以有限元軟件ANSYS對其進行模擬仿真,運用模塊Preprocessor進行前處理,運用模塊Solution對ZnS基底鍍膜過程進行有限元模擬仿真,得到了 ZnS基底與鍍膜夾具的等效應(yīng)力分布云圖和最大變形情況,確定通用反吊式鍍膜夾具結(jié)構(gòu)與2A12合金鍍膜夾具材料為9組中最好的鍍膜組合。(3)將9組中最好的鍍膜組合進行兩次改進以保證ZnS基底的完整性,之后進行三組鍍膜實驗以驗證。最終對ZnS基底進行透過率測試、反射率測試、膜層表面微觀測試和膜層的環(huán)境測試等,這些測試結(jié)果均滿足紅外窗口技術(shù)要求及GJB 2485-95光學(xué)膜層通用規(guī)范,以此達到ZnS基底不破裂的目的。(4)旨在通過計算機仿真軟件幫助設(shè)計人員尋求一個相對科學(xué)的鍍膜夾具結(jié)構(gòu)和材料的組合,使得在鍍膜過程中減少廢品或次品而造成損失;同時對企業(yè)原有的鍍膜夾具結(jié)構(gòu)及材料進行微調(diào),提出其他幾種鍍膜夾具結(jié)構(gòu)及材料以為不同鍍膜情況提供參考。
[Abstract]:In the process of optical coating, there is usually a high temperature above 100 鈩，

本文編號：2437675