本文關(guān)鍵詞：氬氣流量對(duì)多元摻雜ZnO薄膜性能的影響

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【摘要】：采用射頻磁控濺射的方法在玻璃基底上用摻雜濃度為1%(質(zhì)量分?jǐn)?shù))Al_2O_3,1%(質(zhì)量分?jǐn)?shù))SiO2,1%(質(zhì)量分?jǐn)?shù))石墨烯的陶瓷靶材制備出了多元摻雜氧化鋅(ZnO∶Al∶Si∶GNP,GASZO)透明導(dǎo)電薄膜。利用XRD、SEM、四探針測(cè)試儀、紫外-可見(jiàn)分光光度計(jì)對(duì)薄膜的性能進(jìn)行了表征和分析,研究了不同氬氣流量(工作壓強(qiáng)保持不變)對(duì)薄膜的結(jié)構(gòu)、形貌及光電性能的影響。結(jié)果表明,所制備的薄膜均具有呈c軸擇優(yōu)取向的纖鋅礦結(jié)構(gòu);當(dāng)氬氣流量為70sccm時(shí),薄膜的電阻率最低為11.47×10~(-4)Ω·cm。所有薄膜樣品在可見(jiàn)光波段的平均透過(guò)率超過(guò)91%。
【作者單位】： 海南大學(xué)材料與化工學(xué)院海南省特種玻璃重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;河北迎新玻璃集團(tuán)有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 氬氣流量 射頻磁控濺射 多元摻雜ZnO薄膜 光電性能
【基金】：科技部國(guó)家支撐計(jì)劃(2013BAE03B02;2013BAJ15B04) 海南省科技廳重大科研專項(xiàng)(ZDZX2013002) 國(guó)家自然科學(xué)基金(51562008) 海南省重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目(ZDYF2016017)
【分類號(hào)】：TQ132.41;TB383.2
【正文快照】： (1 Special Glass Laboratory of Hainan Province,College of Materials and Chemical Engineering,Hainan University,Haikou 570228;2 Hebei Yingxin Glass Group Co.,Ltd,Shahe 054100)段光申:男,1990年生,碩士生,主要研究方向?yàn)樘胤N玻璃制備與應(yīng)用E-mail:2770672781@qq.c

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1 吳家斌;侯大寅;徐文正;;氬氣流量對(duì)丙綸基氧化鋅/銅復(fù)合膜結(jié)構(gòu)及抗紫外線性能的影響[J];河南工程學(xué)院學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2014年02期

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本文編號(hào)：725709