概述了國(guó)內(nèi)外高純硅烷的研究進(jìn)展,采用氟硅酸制備高純硅副產(chǎn)氟化鹽,分析了實(shí)驗(yàn)原料、實(shí)驗(yàn)方法、工藝流程、工藝關(guān)鍵點(diǎn)和創(chuàng)新點(diǎn),對(duì)比了該工藝制備高純硅烷和國(guó)內(nèi)外超大規(guī)模集成電路VLSI用硅烷的指標(biāo)。該技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn)較多,經(jīng)濟(jì)效益、環(huán)境效益和社會(huì)效益都極其顯著,實(shí)現(xiàn)了氟硅資源的高效利用。 

【文章來源】：河南化工. 2020,37(06)

【文章頁數(shù)】：3 頁

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工藝流程圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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