β-Si 3 N 4 (0001)表面本征點(diǎn)缺陷及其異質(zhì)結(jié)的模擬研究
發(fā)布時(shí)間:2021-08-10 10:10
Si3N4作為結(jié)構(gòu)和功能陶瓷材料在工程實(shí)踐應(yīng)用中備受歡迎,因其穩(wěn)定性好、強(qiáng)度高、熱導(dǎo)率高等特性,有望成為下一代功率器件的襯底材料。在服役于各種環(huán)境時(shí),本征點(diǎn)缺陷已成為光電器件性能的重要影響因素之一,同時(shí)對(duì)Si3N4基的異質(zhì)相界面的微觀(guān)結(jié)構(gòu)與性質(zhì)進(jìn)行探索研究也變得尤為重要;诖,本論文利用第一性原理計(jì)算的方法,從原子尺度研究了不同Si-N原子層中空位(VNt1、VNt2和VSi)和填隙(IN和ISi)缺陷對(duì)H鈍化β-Si3N4(0001)表面結(jié)構(gòu)的電子特性和光學(xué)性質(zhì)的影響,構(gòu)建石墨烯/β-Si3N4(0001)異質(zhì)結(jié)并計(jì)算電子特性和光學(xué)性質(zhì),為其進(jìn)一步的實(shí)際應(yīng)用提供理論和指導(dǎo)。(1)二維β-Si3N4不同層的單原子空位缺陷體系,結(jié)構(gòu)優(yōu)化后發(fā)現(xiàn)隨著空位越接近內(nèi)層,...
【文章來(lái)源】:蘭州理工大學(xué)甘肅省
【文章頁(yè)數(shù)】:78 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
Si3N4三種相的晶體結(jié)構(gòu)[4]
碩士學(xué)位論文3降低帶隙使其發(fā)揮更好的利用價(jià)值成為研究的趨勢(shì),相繼發(fā)現(xiàn)通過(guò)的摻雜、吸附等方式確實(shí)起到了較為明顯的效果[17-20]。伴隨著Si3N4薄膜的問(wèn)世,在20世紀(jì)60年代在硅基集成電路板的鈍化領(lǐng)域上進(jìn)行了應(yīng)用,引起了人們廣泛的關(guān)注。太陽(yáng)能電池作為一種清潔能源的利用方式,逐漸改變著人們的生活。威爾士大學(xué)研發(fā)的光電轉(zhuǎn)化可達(dá)17%的太陽(yáng)能電池已然成為硅基太陽(yáng)能電池的一個(gè)里程碑[21],為提升電池轉(zhuǎn)化效率,Si3N4薄膜作為減反射膜和鈍化膜被加以運(yùn)用[22-24],使光電轉(zhuǎn)化效率明顯提升,優(yōu)于SiO2薄膜[25]。加之光電器件也逐漸走向微型化的方向,因而納米Si3N4材料的研究也成為焦點(diǎn),此外,Si3N4陶瓷基板是半導(dǎo)體功率模塊的部件,也是電力電子領(lǐng)域中最重要的功率器件之一,在電動(dòng)汽車(chē)、軌道交通上起著關(guān)鍵作用。圖1.2Si3N4在多領(lǐng)域的部分應(yīng)用1.2Si3N4中點(diǎn)缺陷的研究現(xiàn)狀同理想晶體相比較而言,實(shí)際晶體材料中出現(xiàn)的缺陷是不可避免的。在理論上,缺陷定義為偏離理想晶體周期性或平移對(duì)稱(chēng)性的結(jié)構(gòu)形式,尤其是對(duì)于晶體中相對(duì)獨(dú)立出現(xiàn)的點(diǎn)缺陷,最基本的以點(diǎn)陣空位、置換原子和填隙原子形式存在,其形成機(jī)理和對(duì)材料性能的影響都是非常重要的。在實(shí)驗(yàn)工作中對(duì)于濃度很低的點(diǎn)缺陷是很難識(shí)別的,然而存在低濃度缺陷的實(shí)驗(yàn)樣品會(huì)直接影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果的分析,隨著計(jì)算機(jī)性能的不斷增強(qiáng),合理運(yùn)用理論計(jì)算可彌補(bǔ)實(shí)驗(yàn)的短板。在大多數(shù)晶體材料中,與原子擴(kuò)散有關(guān)的現(xiàn)象都與存在的點(diǎn)缺陷有關(guān),嚴(yán)重影響了電導(dǎo)率和許多其它性能。有關(guān)本征缺陷的信息對(duì)于理解和設(shè)計(jì)包含雜質(zhì)、表面和界面至關(guān)重要,因?yàn)檫@些復(fù)雜缺陷和本征缺陷之間的相互作用決定了材料的整體性能。
β-Si3N4(0001)表面本征點(diǎn)缺陷及其異質(zhì)結(jié)的模擬研究10近似歸納處理如圖2.1所示。圖2.1固體能帶理論的近似過(guò)程2.2.1Hohenberg-Kohn定理根據(jù)量子力學(xué)基本原理,設(shè)定已知體系的哈密頓算符H,其定態(tài)薛定諤方程可表示為HΨ=EΨ。如果令體系的基態(tài)波函數(shù)為Ψ0,則對(duì)應(yīng)體系的基態(tài)能量可表示為E0,對(duì)于多粒子體系的波函數(shù)Ψ與體系內(nèi)N個(gè)粒子的坐標(biāo)是息息相關(guān)的,加之體系內(nèi)單個(gè)粒子有3個(gè)自由度,隨著體系N的變大,計(jì)算量就會(huì)變得異常繁重,為了解決這一困難,HohenbergP和KohnW于1964年提出了密度泛函理論[84]。該理論的核心是將電子密度ρ(r)作為試探函數(shù),其總能E為電子密度的泛函E[ρ]。因此,基于非均勻電子氣理論,提出如下定理:定理一:不計(jì)自旋的全同費(fèi)米子系統(tǒng)的基態(tài)能量是粒子數(shù)密度函數(shù)ρ(r)唯一泛函。定理二:能量泛函E[ρ]在粒子數(shù)不變的條件下,對(duì)正確的粒子數(shù)密度函數(shù)ρ(r)取最小值,且等于基態(tài)能量。定理一保證了粒子數(shù)密度ρ(r)作為體系基本物理量的合法性,同時(shí),也是密度泛函理論名稱(chēng)由來(lái)的依據(jù)。該定理表明多粒子體系的基態(tài)粒子數(shù)密度ρ(r)與其所處的外勢(shì)場(chǎng)之間是一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系。確定了體系的粒子數(shù)和哈密頓算符,進(jìn)而確定了體系的所有性質(zhì)。定理二是密度泛函框架下的變分原理,為處理實(shí)際問(wèn)題提供了捷徑。這里所處里的基態(tài)是非簡(jiǎn)并的,將多電子體系的哈密頓量可以表示為:H=T+U+V(2.1)其中T表示電子的動(dòng)能,U表示多電子系統(tǒng)相互作用勢(shì),V表示多電子系統(tǒng)之外的外勢(shì)。對(duì)于基態(tài)波函數(shù)的積分如下表示:
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]氮化硅陶瓷粉體的制備研究進(jìn)展[J]. 徐晨輝,張寧,趙介南,周彬彬,闞洪敏,王曉陽(yáng). 粉末冶金工業(yè). 2019(04)
[2]氮化硅減反射膜制備工藝對(duì)組織結(jié)構(gòu)及折射率影響的研究[J]. 高越,王宙,付傳起,楊梓健,項(xiàng)永礦. 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2019(06)
[3]石墨烯硅基異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池中Gr/Si3N4/Si光學(xué)微腔的優(yōu)化設(shè)計(jì)[J]. 李萌,況亞偉. 淮北師范大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版). 2018(04)
[4]氮化硅軸承套圈溝道的超精研工藝實(shí)驗(yàn)研究[J]. 李頌華,秘文博,吳玉厚,孫健. 機(jī)械與電子. 2017(02)
[5]高純氮化硅粉合成研究進(jìn)展[J]. 鄭彧,張偉儒,彭珍珍,王騰飛,李鑌,鄒景良,張哲. 硅酸鹽通報(bào). 2015(S1)
[6]涂層Si3N4陶瓷刀具切削性能研究[J]. 汪家華,伍尚華. 機(jī)電工程技術(shù). 2014(08)
[7]A first-principle investigation of the oxygen defects in Si3N4-based charge trapping memories[J]. 羅京,盧金龍,趙宏鵬,代月花,劉琦,楊金,蔣先偉,許會(huì)芳. Journal of Semiconductors. 2014(01)
[8]Study of H2O and HOCH2CH2OH Adsorption on the Relaxation Surface of β-Si3N4(0001) by Density Functional Theory[J]. 彭新宇,王學(xué)業(yè),王玲,譚援強(qiáng). 結(jié)構(gòu)化學(xué). 2008(12)
[9]DFT方法研究摻雜氮化硅對(duì)SONOS器件保持性能的作用[J]. 房少華,程秀蘭,黃曄,顧懷懷. 物理學(xué)報(bào). 2007(11)
[10]氮化硅晶須結(jié)構(gòu)的性能研究及其應(yīng)用現(xiàn)狀[J]. 李甫. 佛山陶瓷. 2007(09)
博士論文
[1]納米氮化硅的光學(xué)性能及其線(xiàn)、薄膜力學(xué)行為的模擬研究[D]. 盧學(xué)峰.西安交通大學(xué) 2017
碩士論文
[1]氮化硅和碳化硅及其復(fù)合雙層減反射膜研究[D]. 陳暉.上海工程技術(shù)大學(xué) 2012
本文編號(hào):3333868
【文章來(lái)源】:蘭州理工大學(xué)甘肅省
【文章頁(yè)數(shù)】:78 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
Si3N4三種相的晶體結(jié)構(gòu)[4]
碩士學(xué)位論文3降低帶隙使其發(fā)揮更好的利用價(jià)值成為研究的趨勢(shì),相繼發(fā)現(xiàn)通過(guò)的摻雜、吸附等方式確實(shí)起到了較為明顯的效果[17-20]。伴隨著Si3N4薄膜的問(wèn)世,在20世紀(jì)60年代在硅基集成電路板的鈍化領(lǐng)域上進(jìn)行了應(yīng)用,引起了人們廣泛的關(guān)注。太陽(yáng)能電池作為一種清潔能源的利用方式,逐漸改變著人們的生活。威爾士大學(xué)研發(fā)的光電轉(zhuǎn)化可達(dá)17%的太陽(yáng)能電池已然成為硅基太陽(yáng)能電池的一個(gè)里程碑[21],為提升電池轉(zhuǎn)化效率,Si3N4薄膜作為減反射膜和鈍化膜被加以運(yùn)用[22-24],使光電轉(zhuǎn)化效率明顯提升,優(yōu)于SiO2薄膜[25]。加之光電器件也逐漸走向微型化的方向,因而納米Si3N4材料的研究也成為焦點(diǎn),此外,Si3N4陶瓷基板是半導(dǎo)體功率模塊的部件,也是電力電子領(lǐng)域中最重要的功率器件之一,在電動(dòng)汽車(chē)、軌道交通上起著關(guān)鍵作用。圖1.2Si3N4在多領(lǐng)域的部分應(yīng)用1.2Si3N4中點(diǎn)缺陷的研究現(xiàn)狀同理想晶體相比較而言,實(shí)際晶體材料中出現(xiàn)的缺陷是不可避免的。在理論上,缺陷定義為偏離理想晶體周期性或平移對(duì)稱(chēng)性的結(jié)構(gòu)形式,尤其是對(duì)于晶體中相對(duì)獨(dú)立出現(xiàn)的點(diǎn)缺陷,最基本的以點(diǎn)陣空位、置換原子和填隙原子形式存在,其形成機(jī)理和對(duì)材料性能的影響都是非常重要的。在實(shí)驗(yàn)工作中對(duì)于濃度很低的點(diǎn)缺陷是很難識(shí)別的,然而存在低濃度缺陷的實(shí)驗(yàn)樣品會(huì)直接影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果的分析,隨著計(jì)算機(jī)性能的不斷增強(qiáng),合理運(yùn)用理論計(jì)算可彌補(bǔ)實(shí)驗(yàn)的短板。在大多數(shù)晶體材料中,與原子擴(kuò)散有關(guān)的現(xiàn)象都與存在的點(diǎn)缺陷有關(guān),嚴(yán)重影響了電導(dǎo)率和許多其它性能。有關(guān)本征缺陷的信息對(duì)于理解和設(shè)計(jì)包含雜質(zhì)、表面和界面至關(guān)重要,因?yàn)檫@些復(fù)雜缺陷和本征缺陷之間的相互作用決定了材料的整體性能。
β-Si3N4(0001)表面本征點(diǎn)缺陷及其異質(zhì)結(jié)的模擬研究10近似歸納處理如圖2.1所示。圖2.1固體能帶理論的近似過(guò)程2.2.1Hohenberg-Kohn定理根據(jù)量子力學(xué)基本原理,設(shè)定已知體系的哈密頓算符H,其定態(tài)薛定諤方程可表示為HΨ=EΨ。如果令體系的基態(tài)波函數(shù)為Ψ0,則對(duì)應(yīng)體系的基態(tài)能量可表示為E0,對(duì)于多粒子體系的波函數(shù)Ψ與體系內(nèi)N個(gè)粒子的坐標(biāo)是息息相關(guān)的,加之體系內(nèi)單個(gè)粒子有3個(gè)自由度,隨著體系N的變大,計(jì)算量就會(huì)變得異常繁重,為了解決這一困難,HohenbergP和KohnW于1964年提出了密度泛函理論[84]。該理論的核心是將電子密度ρ(r)作為試探函數(shù),其總能E為電子密度的泛函E[ρ]。因此,基于非均勻電子氣理論,提出如下定理:定理一:不計(jì)自旋的全同費(fèi)米子系統(tǒng)的基態(tài)能量是粒子數(shù)密度函數(shù)ρ(r)唯一泛函。定理二:能量泛函E[ρ]在粒子數(shù)不變的條件下,對(duì)正確的粒子數(shù)密度函數(shù)ρ(r)取最小值,且等于基態(tài)能量。定理一保證了粒子數(shù)密度ρ(r)作為體系基本物理量的合法性,同時(shí),也是密度泛函理論名稱(chēng)由來(lái)的依據(jù)。該定理表明多粒子體系的基態(tài)粒子數(shù)密度ρ(r)與其所處的外勢(shì)場(chǎng)之間是一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系。確定了體系的粒子數(shù)和哈密頓算符,進(jìn)而確定了體系的所有性質(zhì)。定理二是密度泛函框架下的變分原理,為處理實(shí)際問(wèn)題提供了捷徑。這里所處里的基態(tài)是非簡(jiǎn)并的,將多電子體系的哈密頓量可以表示為:H=T+U+V(2.1)其中T表示電子的動(dòng)能,U表示多電子系統(tǒng)相互作用勢(shì),V表示多電子系統(tǒng)之外的外勢(shì)。對(duì)于基態(tài)波函數(shù)的積分如下表示:
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]氮化硅陶瓷粉體的制備研究進(jìn)展[J]. 徐晨輝,張寧,趙介南,周彬彬,闞洪敏,王曉陽(yáng). 粉末冶金工業(yè). 2019(04)
[2]氮化硅減反射膜制備工藝對(duì)組織結(jié)構(gòu)及折射率影響的研究[J]. 高越,王宙,付傳起,楊梓健,項(xiàng)永礦. 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2019(06)
[3]石墨烯硅基異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池中Gr/Si3N4/Si光學(xué)微腔的優(yōu)化設(shè)計(jì)[J]. 李萌,況亞偉. 淮北師范大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版). 2018(04)
[4]氮化硅軸承套圈溝道的超精研工藝實(shí)驗(yàn)研究[J]. 李頌華,秘文博,吳玉厚,孫健. 機(jī)械與電子. 2017(02)
[5]高純氮化硅粉合成研究進(jìn)展[J]. 鄭彧,張偉儒,彭珍珍,王騰飛,李鑌,鄒景良,張哲. 硅酸鹽通報(bào). 2015(S1)
[6]涂層Si3N4陶瓷刀具切削性能研究[J]. 汪家華,伍尚華. 機(jī)電工程技術(shù). 2014(08)
[7]A first-principle investigation of the oxygen defects in Si3N4-based charge trapping memories[J]. 羅京,盧金龍,趙宏鵬,代月花,劉琦,楊金,蔣先偉,許會(huì)芳. Journal of Semiconductors. 2014(01)
[8]Study of H2O and HOCH2CH2OH Adsorption on the Relaxation Surface of β-Si3N4(0001) by Density Functional Theory[J]. 彭新宇,王學(xué)業(yè),王玲,譚援強(qiáng). 結(jié)構(gòu)化學(xué). 2008(12)
[9]DFT方法研究摻雜氮化硅對(duì)SONOS器件保持性能的作用[J]. 房少華,程秀蘭,黃曄,顧懷懷. 物理學(xué)報(bào). 2007(11)
[10]氮化硅晶須結(jié)構(gòu)的性能研究及其應(yīng)用現(xiàn)狀[J]. 李甫. 佛山陶瓷. 2007(09)
博士論文
[1]納米氮化硅的光學(xué)性能及其線(xiàn)、薄膜力學(xué)行為的模擬研究[D]. 盧學(xué)峰.西安交通大學(xué) 2017
碩士論文
[1]氮化硅和碳化硅及其復(fù)合雙層減反射膜研究[D]. 陳暉.上海工程技術(shù)大學(xué) 2012
本文編號(hào):3333868
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