熱子型吸氣劑是真空電子器件內(nèi)部維持真空環(huán)境的關(guān)鍵元件,其主要由表層吸氣材料,加熱絲及絕緣層三部分構(gòu)成。其中,絕緣層主要起到隔離吸氣材料和加熱絲、保證熱子型吸氣劑激活一致性的關(guān)鍵作用。目前電泳法制備的絕緣層存在燒結(jié)溫度高、涂層質(zhì)量差等問題,影響了熱子型吸氣劑激活電流的一致性,難以滿足現(xiàn)有真空器件對(duì)熱子型吸氣劑一致性、可靠性的要求。本課題針對(duì)熱絲絕緣層存在的問題,系統(tǒng)開展了熱絲絕緣層的電泳沉積工藝研究。首先研究了懸浮液成分、電泳工藝、燒結(jié)助劑及燒結(jié)工藝對(duì)涂層質(zhì)量的影響。隨后對(duì)優(yōu)化工藝后制備的熱子進(jìn)行了吸氣劑應(yīng)用研究。研究?jī)?nèi)容及主要結(jié)論如下:（1）通過控制懸浮液中各個(gè)成分的比例,研究了懸浮液成分對(duì)電泳沉積的影響,結(jié)果表明在硝酸鈰銨濃度為0.2 mg·ml-1時(shí)可以獲得較高的沉積效率。添加4 wt.%比例的氧化硅制備的涂層在燒結(jié)后具有較好的表面質(zhì)量;當(dāng)添加氧化硅比例為8 wt.%,12 wt.%時(shí),涂層燒結(jié)后開裂嚴(yán)重。通過對(duì)熱絲絕緣層的成分分析發(fā)現(xiàn),涂層中氧化硅的含量與懸浮液中氧化硅的含量相近,燒結(jié)后涂層中出現(xiàn)新相（3A1203·2Si02）。（2）通過控制電泳沉積的電壓、時(shí)間、電極間距,發(fā)現(xiàn)... 

【文章來源】：北京有色金屬研究總院北京市

【文章頁數(shù)】：55 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．２電泳懸浮液中粒子間相互作用能隨間距的變化??（５）擴(kuò)散雙電層形變沉積理論??

氣速率”的整個(gè)期間內(nèi)，吸收的氣體總量（Ｐａｘｎ＾ｇ＾。本論文采用定壓法測(cè)試吸氣劑??的吸氣性能。測(cè)量原理是根據(jù)分子性氣流通過已知流導(dǎo)的毛細(xì)管時(shí)，通過記錄在毛細(xì)??管兩端的真空腔室Ｐｍ和Ｐｇ內(nèi)的氣體壓強(qiáng)差，求出樣品的吸氣速率和吸氣量。如圖２．４??為定壓法吸氣性能測(cè)試平臺(tái)的示意圖。??具體的測(cè)試步驟如下：??（１）

配置含有不同硝棉濃度的懸浮液，控制沉積電壓為３０?Ｖ，沉積時(shí)間為６０ｓ，電極??間距為２?ｃｍ。通過沉積質(zhì)量的變化規(guī)律，分析硝棉濃度對(duì)氧化鋁顆粒電泳沉積速率??的影響。如圖３．２所示，添加５％?ｗｔ．硝棉的懸浮液，其沉積質(zhì)量最大，達(dá)到０．０５?ｇ＾ｍ＇２。??隨著懸浮液中硝棉比例的增加，氧化鋁顆粒的沉積速率逐漸降低。添加２５％?ｗｔ．硝棉??的懸浮液，其沉積質(zhì)量?jī)H為０．００２?ｇ＿ｃｍ＃２。這種現(xiàn)象產(chǎn)生的原因可能包含以下兩種情??況：一是懸浮液中硝棉濃度提高后，其粘度也隨之增加，在相同的電泳驅(qū)動(dòng)力下，氧??化鋁顆粒運(yùn)動(dòng)受到的阻力也更大，因而表現(xiàn)出沉積質(zhì)量減少。另一種原因可能是硝棉??會(huì)對(duì)粒子的表面電荷狀態(tài)產(chǎn)生了影響，懸浮液中添加不同比例的硝棉后，氧化鋁顆粒??表面的荷電狀態(tài)不同，所受到的電泳驅(qū)動(dòng)力也不相同，最終使氧化鋁顆粒的沉積速率??產(chǎn)生了差異。??１８??

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
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本文編號(hào)：3301002