應(yīng)用于大型紅外望遠(yuǎn)鏡、夜視儀、定點(diǎn)追蹤系統(tǒng)以及太陽能集熱器的紅外反射涂層和選擇性吸收涂層不但需要有良好的光學(xué)性能,還要有良好的力學(xué)及耐腐蝕等耐久性能以抵抗風(fēng)沙、潮濕、酸雨和鹽霧等嚴(yán)苛條件帶來的損傷。但實(shí)際的應(yīng)用中仍存在以下問題:1.在大型紅外望遠(yuǎn)鏡等應(yīng)用中,耐久反射涂層成為日益需求的材料。但高耐久與高紅外反射在某種程度上是互相矛盾的。以目前最普遍使用的反射涂層鋁為例,高的自由電子濃度賦予了它極高紅外反射率,但也同時(shí)帶來了低硬度、低熔點(diǎn)和易于腐蝕等極差的環(huán)境耐久性,這歸因于金屬鍵合的本質(zhì)。因此,如何獲得一種既耐久又高紅外反射的新型涂層材料已經(jīng)成為開放的挑戰(zhàn)。2.隨著傳統(tǒng)的化石燃料能源日漸枯竭,人們對(duì)新能源的需求不斷增加。過渡金屬氮化物（TMN_x）優(yōu)異的性能使其在太陽能集熱器中扮演著越來越重要的角色。因此,如何系統(tǒng)的研究TMN_x光學(xué)吸收和發(fā)射特性至關(guān)重要,這決定了器件的光譜選擇性和應(yīng)用領(lǐng)域。針對(duì)以上問題,我們利用磁控濺射技術(shù)制備了不同氮含量的氮化鉿（HfN_x）薄膜和HfN_x多層膜,利用共濺射技術(shù)向巖鹽相... 

【文章來源】：吉林大學(xué)吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：94 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

巖鹽相TMNx的原子結(jié)構(gòu)圖

Zr3N4的電子衍射圖

C 的溫度且 RN2分別為（a）20％、（b）40％時(shí)在 Si 襯底上生長(zhǎng)的 Zr-N 薄膜 N1s 的 XPSS spectra of N1s for the Zr-N film grown on Sature of 500oC and RN2is (a) 20%, (b) 40%, (d) 100%[49]人[49]通過測(cè)試 X 射線光電子能譜（XPS）研究了電子結(jié)構(gòu)。圖1.3是500oC的溫度時(shí)且RN2分別下在 S（i100）襯底上沉積生長(zhǎng)的 ZrN 膜 N_1


本文編號(hào)：3105665