應用于大型紅外望遠鏡、夜視儀、定點追蹤系統以及太陽能集熱器的紅外反射涂層和選擇性吸收涂層不但需要有良好的光學性能,還要有良好的力學及耐腐蝕等耐久性能以抵抗風沙、潮濕、酸雨和鹽霧等嚴苛條件帶來的損傷。但實際的應用中仍存在以下問題:1.在大型紅外望遠鏡等應用中,耐久反射涂層成為日益需求的材料。但高耐久與高紅外反射在某種程度上是互相矛盾的。以目前最普遍使用的反射涂層鋁為例,高的自由電子濃度賦予了它極高紅外反射率,但也同時帶來了低硬度、低熔點和易于腐蝕等極差的環(huán)境耐久性,這歸因于金屬鍵合的本質。因此,如何獲得一種既耐久又高紅外反射的新型涂層材料已經成為開放的挑戰(zhàn)。2.隨著傳統的化石燃料能源日漸枯竭,人們對新能源的需求不斷增加。過渡金屬氮化物（TMN_x）優(yōu)異的性能使其在太陽能集熱器中扮演著越來越重要的角色。因此,如何系統的研究TMN_x光學吸收和發(fā)射特性至關重要,這決定了器件的光譜選擇性和應用領域。針對以上問題,我們利用磁控濺射技術制備了不同氮含量的氮化鉿（HfN_x）薄膜和HfN_x多層膜,利用共濺射技術向巖鹽相... 

【文章來源】：吉林大學吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數】：94 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

巖鹽相TMNx的原子結構圖

Zr3N4的電子衍射圖

C 的溫度且 RN2分別為（a）20％、（b）40％時在 Si 襯底上生長的 Zr-N 薄膜 N1s 的 XPSS spectra of N1s for the Zr-N film grown on Sature of 500oC and RN2is (a) 20%, (b) 40%, (d) 100%[49]人[49]通過測試 X 射線光電子能譜（XPS）研究了電子結構。圖1.3是500oC的溫度時且RN2分別下在 S（i100）襯底上沉積生長的 ZrN 膜 N_1


本文編號：3105665