<正>2020年5月7日,英國(guó)吉爾福德林德宣布,其為積塔半導(dǎo)體建造的1臺(tái)制氮機(jī)在上海開(kāi)機(jī)成功,林德與積塔半導(dǎo)體簽訂了1份為期20年的超高純工業(yè)用氣供應(yīng)合約,目前開(kāi)機(jī)運(yùn)行的為計(jì)劃建造的兩臺(tái)高純制氮機(jī)中的第1臺(tái),第2臺(tái)預(yù)計(jì)將于2022年上線啟用。該制氮機(jī)位于上海臨港產(chǎn)業(yè)區(qū),其安裝和運(yùn)行工作由林德旗下合資企業(yè)聯(lián)華林德（Linde Lien Hwa）負(fù)責(zé)。該制氮機(jī)將為積塔半導(dǎo)體造價(jià)高達(dá)51億美元的晶圓制造廠供應(yīng)各種超高純度氣體(如氮?dú)�、氧氣、氬氣�?nbsp;

【文章來(lái)源】：化工裝備技術(shù). 2020,41(03)

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