發(fā)布時(shí)間：2018-07-09 22:46

  本文選題：非線性光學(xué) + 缺陷深度估測�。� 參考：《光子學(xué)報(bào)》2017年05期

【摘要】：基于印壓斷裂力學(xué)理論分析了磷酸二氫鉀晶體表面缺陷面積與中位裂紋深度的關(guān)系.在刀具參量和主軸轉(zhuǎn)數(shù)一定的情況下,采用不同切削深度和進(jìn)給速率對(duì)磷酸二氫鉀晶體進(jìn)行單點(diǎn)金剛石飛切加工實(shí)驗(yàn),并計(jì)算晶體表面單位面積缺陷的占比系數(shù).實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,晶體表面缺陷深度與面積占比系數(shù)成正相關(guān),與理論分析結(jié)果相符,進(jìn)而提出了利用計(jì)算晶體表面缺陷占比系數(shù)估測缺陷深度的方法.最后基于該方法得到高效率切削步驟,并加工獲得了表面粗糙度算術(shù)平均值優(yōu)于5nm的超光滑晶體表面.
[Abstract]:The relationship between the surface defect area and the median crack depth of potassium dihydrogen phosphate crystal was analyzed based on the fracture mechanics theory. Under the condition of constant tool parameters and spindle rotation, single point diamond flying cutting experiments were carried out with different cutting depth and feed rate, and the percentage ratio of crystal surface defects per unit area was calculated. The experimental results show that there is a positive correlation between the surface defect depth and the area ratio coefficient, which is consistent with the theoretical analysis results. Furthermore, a method for estimating the defect depth by calculating the crystal surface defect fraction coefficient is proposed. Finally, the high efficiency cutting step is obtained based on this method, and the ultra-smooth crystal surface with arithmetic mean value of surface roughness is obtained, which is superior to 5nm.
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光物理聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院大學(xué);上�？萍即髮W(xué)物質(zhì)科學(xué)與技術(shù)學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(No.61405211) 中以高功率激光技術(shù)國際合作研究項(xiàng)目(No.2010DFB70490)資助~~
【分類號(hào)】：O786;TQ131.13

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2110973