ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削工藝
本文選題:高陡度薄壁結(jié)構(gòu) 切入點(diǎn):保形非球面 出處:《光學(xué)精密工程》2017年01期
【摘要】:為了實(shí)現(xiàn)新型紅外陶瓷ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削加工,首先根據(jù)ALON的材料屬性和高陡度薄壁保形非球面的結(jié)構(gòu)特性,進(jìn)行了其超精密磨削加工工藝性分析,并基于有限元計(jì)算方法,完成了面向ALON高陡度薄壁保形非球面的精密夾具的設(shè)計(jì)以及關(guān)鍵參數(shù)的優(yōu)化。然后完成了ALON的超精密磨削工藝實(shí)驗(yàn),工藝實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明減小工件轉(zhuǎn)速和砂輪粒度都會(huì)降低ALON的平均表面粗糙度Ra值,但砂輪粒度對(duì)磨削后ALON的表面粗糙度影響更顯著。最后實(shí)現(xiàn)了ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削加工,磨削后的ALON高陡度薄壁保形非球面的面形精度PV值為2μm,表面粗糙度Ra值可達(dá)8.6nm。
[Abstract]:In order to realize the ultra-precision grinding of new infrared ceramic ALON with high steepness thin-walled conformal aspherical surface, firstly, according to the material properties of ALON and the structural characteristics of high steepness thin-walled conformal aspheric surface, the processing technology of ultra-precision grinding was analyzed. Based on the finite element method, the design and optimization of the precision fixture for ALON high steepness thin-wall conformal aspherical surface are completed, and then the ALON ultra-precision grinding process experiment is completed. The experimental results show that the average surface roughness Ra value of ALON can be reduced by reducing the rotational speed of the workpiece and the granularity of the grinding wheel. However, the effect of grinding wheel granularity on the surface roughness of ALON after grinding is more significant. Finally, the ultra-precision grinding of ALON high steepness thin-walled conformal aspherical surface is realized. After grinding, the ALON high steepness thin-walled conformal aspherical surface accuracy PV value is 2 渭 m, and the surface roughness Ra value can reach 8.6 nm.
【作者單位】: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院精密工程研究所;中國空空導(dǎo)彈研究院;哈爾濱工業(yè)大學(xué)航天學(xué)院光電子技術(shù)研究所;
【基金】:航空科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.20140177003) 中國博士后科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.2015T80337)
【分類號(hào)】:TQ174.6
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,本文編號(hào):1673907
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