本文選題：單晶硅　切入點：超精密切削　出處：《機(jī)床與液壓》2017年19期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：為了了解單晶硅超精密車削過程中不同切削參數(shù)及刀具前角對切削力的影響,利用單晶金剛石車刀對單晶硅進(jìn)行單因素變量超精密車削試驗。試驗結(jié)果表明:進(jìn)給量f和切削深度a_p對X、Y、Z方向的切削力F均有增大的趨勢;而在切削速度v_c增加時,各方向的F逐漸減小;切削前角減小時,切削力反而增大。通過各因素對切削力F的變化幅值可以得到,對F影響較大的參數(shù)為a_p及f。選取最佳組合參數(shù)對單晶硅進(jìn)行超精密切削試驗,得到極為光滑的表面。
[Abstract]:In order to understand the influence of different cutting parameters and cutting tool front angle on cutting force during ultra-precision single crystal silicon turning, The single crystal diamond turning tool is used to carry out the single factor variable ultra-precision turning test for single crystal silicon. The experimental results show that the cutting force F of feed rate f and cutting depth a / p increases in the direction of XY Z, but when the cutting speed vc increases, the cutting force F increases with the increase of cutting speed. The cutting force increases when the cutting angle is reduced, and the amplitude of the cutting force is obtained by various factors. The parameters which have a great influence on F are: Aspp and f.Select the best combination parameter to carry on the ultra-precision cutting test to the monocrystalline silicon, and get the extremely smooth surface.
【作者單位】： 沈陽航空航天大學(xué)航空制造工藝數(shù)字化國防重點學(xué)科實驗室;
【基金】：航空科學(xué)基金資助項目(2013ZE54002)
【分類號】：TQ127.2

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本文編號：1625738