本文關鍵詞：定量單軸壓力下單晶硅片原位拉曼譜峰測試（英文）

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【摘要】：測量獲得了金剛石壓腔系統(tǒng)中碳化鎢基座單軸下的總壓應力(F/N)-應變(ε/μm/m)關系:F=3.395ε+12.212(R~2=0.999 9),研制出可以在定量單軸壓力下原位測試樣品譜學特征的裝置。利用該裝置測試了單軸壓力在2548.664 MPa下單晶硅片的拉曼譜峰。測試結果表明,當壓力垂直于單晶硅樣品[100]結晶面時,樣品的519.12cm~(-1)譜峰隨壓力增大有規(guī)律的向高頻方向偏移,譜峰頻移量(Δω/cm~(-1))與壓力(σ/MPa)的增加呈顯著的線性關系,線性方程為σ=365.80Δω+10.19。式中的常數(shù)項在一定程度上反應了樣品本身存在的殘余應力;一次項系數(shù)與理論計算得到的結果存在一定差異,可能是由于本實驗考慮了樣品受力的定向性。Δω-σ線性關系式中的常數(shù)項可能代表兩層含義:一是實驗過程中存在的誤差;二是在一定程度上反應了硅片本身存在的內(nèi)應力的大小。
【作者單位】： 中國地震局地震預測重點實驗室(中國地震局地震預測研究所);防災科技學院;
【關鍵詞】： 單軸壓力 單晶硅片 拉曼譜峰 殘余應力
【基金】：Basic research project of Institute of Earthquake Science,CEA(2012IES0404) project supported by National Natural Science Foundation of China(41104052,41373059,41373060,41174071) project supported by the Fundamental Research Funds for the Central Universities(ZY20130202)
【分類號】：O657.37;TQ127.2
【正文快照】： Introduction　　Diamond　anvil　cell(DAC)is　a　device　composed　of　a　pairof　diamond　anvils　and　some　external　mechanical　equipment.Ithas　been　widely　used　in　the　research　of　high　pressure　since　itsinvention　in　1959[1].In　the　devel

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1 王俊忠，，尹繼祖，袁州蘭，方可，張永照;Na_2ZnCl_4·3H_2O：Mn~（2＋）晶體EPR參量及其單軸壓力效應的[J];河北師范大學學報;1994年03期

本文編號：940699