本文關(guān)鍵詞：射頻功率對氫氣與反式二丁烯的低壓電感耦合等離子體的影響（英文）

  更多相關(guān)文章： GDP薄膜 朗繆爾探針 質(zhì)譜儀 等離子體診斷

【摘要】：利用等離子體聚合技術(shù)制備的GDP殼層是目前ICF靶丸的主要燒蝕層材料。為了了解GDP薄膜沉積過程中的CH等離子體的狀態(tài),采用朗繆爾探針和質(zhì)譜儀對C4H8/H2等離子體的組分和狀態(tài)參數(shù)進行了診斷,并對等離子體的電子能量分布函數(shù)、電子密度、電子溫度等進行了深入分析。同時討論了等離子體狀態(tài)與放電參數(shù)之間的關(guān)系。研究發(fā)現(xiàn),射頻功率對等離子體參數(shù)有明顯的影響。從10W到35W,電子密度正比于射頻功率。隨著射頻功率的增加,在兩步電離機制作用下,電子溫度和等離子體電勢呈現(xiàn)先減小后增大的變化趨勢。另外,在高氣壓下,質(zhì)譜診斷中發(fā)現(xiàn)了大量的穩(wěn)定的小質(zhì)量碎片離子,這表明在高氣壓下等離子體氣相中的離子碎片聚合反應被抑制。
【作者單位】： 中國工程物理研究院激光聚變研究中心;
【關(guān)鍵詞】： GDP薄膜 朗繆爾探針 質(zhì)譜儀 等離子體診斷
【分類號】：O646.9
【正文快照】： In order to achieve inertial confinement fusion(ICF),the shell filled with a deuterium-tritium mixture will be heated and compressed by lasers to reach ignition.However,the materials suitable as an ablator for high energy class lasers must have particula

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 李蕊;何智兵;何小珊;牛忠彩;楊向東;;射頻功率對輝光放電H_2/C_4H_8等離子狀態(tài)的影響[J];物理學報;2012年21期

2 陽志林;何智兵;宋之敏;盧鐵城;張寶玲;唐永建;;反式二丁烯和氫氣流量比對輝光放電聚合物熱穩(wěn)定性能的影響[J];強激光與粒子束;2010年05期

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前7條

1 陳果;張玲;何小珊;何智兵;唐永建;;反式二丁烯與氫氣流量比對輝光放電等離子體組分與聚合物薄膜表面粗糙度的影響[J];原子能科學技術(shù);2016年09期

2 陳果;何智兵;何小珊;張玲;唐永建;;射頻功率對氫氣與反式二丁烯的低壓電感耦合等離子體的影響（英文）[J];強激光與粒子束;2016年09期

3 王永清;楊帥;王碩南;韓芳芳;;射頻功率及工作氣壓對微型ICP激發(fā)源光譜強度的影響[J];分析試驗室;2015年08期

4 李波;張占文;何智兵;高黨忠;陳素芬;何小珊;趙學森;漆小波;劉一楊;王宗偉;劉梅芳;馬小軍;孟婕;馮建紅;蘇琳;陳永平;劉向東;李婧;李潔;;激光慣性約束聚變靶靶丸制備與表征[J];強激光與粒子束;2015年03期

5 劉浩;何智兵;韋建軍;賈曉琴;張玲;劉艷松;周強;;GDP/D-GDP化學結(jié)構(gòu)與力學性能的研究[J];強激光與粒子束;2015年03期

6 彭慶軍;司馬文霞;楊慶;袁濤;劉興華;鄒立峰;李玉森;;He-O_2高氣壓下電容耦合輝光放電數(shù)值分析[J];強激光與粒子束;2012年12期

7 張占文;漆小波;李波;;慣性約束聚變點火靶候選靶丸特點及制備研究進展[J];物理學報;2012年14期

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 張寶玲;何智兵;吳衛(wèi)東;楊向東;劉興華;;間歇跳動法制備微球α-C:H涂層[J];原子能科學技術(shù);2009年09期

2 張寶玲;何智兵;吳衛(wèi)東;劉興華;楊向東;;占空比對微球a-C:H薄膜制備的影響[J];物理學報;2009年09期

3 丁建寧;祁宏山;袁寧一;何宇亮;程廣貴;范真;潘海彬;王君雄;王秀琴;;工藝條件對硼摻雜納米硅薄膜微結(jié)構(gòu)及力學性能的影響[J];真空科學與技術(shù)學報;2009年02期

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 羅飛;龐曉露;高克瑋;楊會生;王燕斌;;射頻功率對氧化鉻薄膜的力學性能和耐磨損性能的影響[J];材料工程;2007年01期

2 劉文龍,張國慶,劉臣輝;電感耦合等離子體系統(tǒng)的漂移與監(jiān)控[J];江蘇農(nóng)學院學報;1996年03期

3 陳明明;袁寧一;丁建寧;趙亞芝;;電容耦合等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)二維射頻放電及薄膜制備工藝的研究[J];常州大學學報(自然科學版);2012年02期

4 劉全吉,遲會,逯笑波,岑明;等離子發(fā)射光譜法同時測定水中十二種微量元素[J];化學工程師;1999年06期

5 ;[J];;年期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 張原斌;趙青南;董玉紅;;射頻功率對透光P型非晶硅薄膜性能的影響[A];2013全國玻璃科學技術(shù)年會論文集[C];2013年

2 蘇凱雄;郭秀惠;;CDMA超線性射頻功率放大技術(shù)[A];2002海峽兩岸三地無線科技研討會論文集[C];2002年

3 曲璐;聞映紅;崔孝海;;射頻功率基準中負載的熱特性分析[A];2007'中國儀器儀表與測控技術(shù)交流大會論文集（二）[C];2007年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 ;完美實現(xiàn)信號通路間的自由切換[N];通信產(chǎn)業(yè)報;2008年

2 ;大幅加速流程的無線測試新方案盤點(1)[N];電子報;2008年

3 周悟;手機到底值多少錢？[N];計算機世界;2006年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 程新紅;圖形化SOI射頻功率器件研究[D];中國科學院研究生院（上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所）;2005年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 劉梁;基于Monte Carlo方法的RIE工藝模擬[D];東南大學;2015年

2 劉曉芳;射頻功率測量方法研究與電路設計[D];鄭州大學;2007年

3 馬拓;CMOS射頻功率檢測器的研究與設計[D];西安電子科技大學;2011年

4 馮曦;射頻功率LDMOS器件設計[D];清華大學;2006年

5 王一鳴;射頻功率LDMOS器件的研究[D];電子科技大學;2007年

6 李鐵虎;射頻功率傳感器自動校準技術(shù)研究[D];華南理工大學;2011年

7 任振;射頻功率LDMOSFET中的熱累積效應研究[D];上海交通大學;2009年

8 夏磊;基于GaN器件射頻功率放大電路的設計[D];南京理工大學;2010年

9 張東升;多頻率射頻信號源的設計與實現(xiàn)[D];天津大學;2005年

10 金冬月;射頻功率HBT自熱補償方法研究[D];遼寧大學;2006年

，

本文編號：677350