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金屬氧化物半導(dǎo)體材料的結(jié)構(gòu)調(diào)控及其傳感器研究

發(fā)布時間:2023-06-28 03:37
  自改革開放之后,我國社會經(jīng)濟的迅猛發(fā)展,大量化工廠和企業(yè)在城市周圍出現(xiàn),向空氣中排放了大量的有毒有害氣體,汽車和公交等交通工具穿梭在城市中向空氣中排放了大量的汽車尾氣,這使得環(huán)境污染問題變得十分嚴(yán)峻,尤其是空氣質(zhì)量問題已經(jīng)影響了人們的日常生活,因此引發(fā)人們關(guān)注[1,2]。人們的日常生活很有可能暴露在各種各樣有害于身體的氣體當(dāng)中,如有機物有害氣體乙醇(C2H5OH)、丙酮(CH3COCH3)、甲醛(HCHO),碳氧化物氣體如一氧化碳(CO)和二氧化碳(CO2)等,硫化物氣體如二氧化硫(SO2)、硫化氫(H2S)等。為了能夠及時監(jiān)測有害氣體,氣敏傳感器發(fā)揮了十分重要的作用,而且在工廠、住宅等常見地方得到了普遍應(yīng)用。而作為氣敏傳感器重要核心部分的敏感材料引起了許多課題組的興趣,尤其是金屬氧化物半導(dǎo)體材料。金屬氧化物半導(dǎo)體材料由于其良好的熱敏性、摻雜性和其他半導(dǎo)體特性等優(yōu)點,在氣敏傳感器領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用[3]<...

【文章頁數(shù)】:61 頁

【學(xué)位級別】:碩士

【文章目錄】:
摘要
abstract
第1章 緒論
    1.1 氣敏傳感器
        1.1.1 氣敏傳感器概述
        1.1.2 氣敏傳感器的分類及其特點
        1.1.3 氣敏傳感器元件的制作和性能測試
    1.2 金屬氧化物半導(dǎo)體材料及其簡介
        1.2.1 金屬氧化物半導(dǎo)體材料概述
        1.2.2 金屬氧化物半導(dǎo)體材料的制備方法
        1.2.3 Fe2O3氣敏材料概述及制備方法
        1.2.4 ZnO氣敏材料概述及制備方法
    1.3 本論文研究的意義和主要工作
第2章 海膽狀SnO2-Fe2O3復(fù)合金屬氧化物的制備及其傳感器研究
    2.1 引言
    2.2 海膽狀SnO2-Fe2O3復(fù)合金屬氧化物的制備
        2.2.1 實驗藥品
        2.2.2 海膽狀SnO2-Fe2O3復(fù)合金屬氧化物的制備
        2.2.3 海膽狀SnO2-Fe2O3復(fù)合金屬氧化物的形貌結(jié)構(gòu)表征
    2.3 海膽狀SnO2-Fe2O3基氣敏傳感器研究
        2.3.1 海膽狀SnO2-Fe2O3基氣敏傳感器的溫度特性研究
        2.3.2 海膽狀SnO2-Fe2O3基氣敏傳感器的響應(yīng)恢復(fù)特性研究
        2.3.3 海膽狀SnO2-Fe2O3基氣敏傳感器的濃度特性研究
        2.3.4 海膽狀SnO2-Fe2O3基氣敏傳感器的選擇特性研究
    2.4 海膽狀SnO2-Fe2O3復(fù)合金屬氧化物的氣敏機理分析
    2.5 本章小結(jié)
第3章 不同形貌的Fe2O3制備及其傳感器研究
    3.1 引言
    3.2 不同形貌的Fe2O3的制備
        3.2.1 實驗藥品
        3.2.2 不同形貌的Fe2O3的制備
        3.2.3 不同形貌的Fe2O3的形貌結(jié)構(gòu)表征
    3.3 基于不同形貌Fe2O3氣敏傳感器研究
        3.3.1 基于不同形貌Fe2O3氣敏傳感器的溫度特性研究
        3.3.2 基于不同形貌Fe2O3氣敏傳感器的響應(yīng)恢復(fù)特性研究
        3.3.3 基于不同形貌Fe2O3氣敏傳感器的濃度特性研究
        3.3.4 基于不同形貌Fe2O3氣敏傳感器的選擇特性研究
        3.3.5 基于不同形貌Fe2O3氣敏傳感器的穩(wěn)定特性研究
    3.4 不同形貌的Fe2O3的氣敏機理分析
    3.5 本章小結(jié)
第4章 In2O3-ZnO復(fù)合微米管的制備及其傳感器研究
    4.1 引言
    4.2 In2O3-ZnO復(fù)合微米管的制備
        4.2.1 實驗藥品
        4.2.2 In2O3-ZnO復(fù)合微米管的制備
        4.2.3 In2O3-ZnO復(fù)合微米管的形貌結(jié)構(gòu)表征
    4.3 基于In2O3-ZnO復(fù)合微米管的氣敏傳感器研究
        4.3.1 基于In2O3-ZnO復(fù)合微米管的氣敏傳感器的溫度特性研究
        4.3.2 基于In2O3-ZnO復(fù)合微米管的氣敏傳感器的濃度特性研究
        4.3.3 基于In2O3-ZnO復(fù)合微米管的氣敏傳感器的響應(yīng)恢復(fù)特性研究
        4.3.4 基于In2O3-ZnO復(fù)合微米管的氣敏傳感器的選擇特性研究
    4.4 In2O3-ZnO復(fù)合微米管的氣敏機理分析
    4.5 本章小結(jié)
第5章 結(jié)論與展望
參考文獻(xiàn)
作者簡介
致謝



本文編號:3835904

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