采用溶膠凝膠（sol-gel）法制備出不同Nb摻雜濃度的Nb:TiO₂薄膜,再經(jīng)過(guò)后續(xù)H2退火提高結(jié)晶性能。用X射線衍射（XRD）,X射線光電子譜（XPS）,掃描電子顯微鏡（SEM）,霍爾儀和紫外可見分光光度計(jì)檢測(cè)分析樣品的形貌和性能,其中包括結(jié)晶性能、元素價(jià)態(tài)、電學(xué)性能和透過(guò)率。結(jié)果顯示,摻Nb的TiO₂薄膜的導(dǎo)電率隨Nb濃度的增加而降低,當(dāng)摻Nb濃度為8%時(shí),樣品具有最優(yōu)異的性能,其方塊電阻可以達(dá)到約4.2×104?/□,透過(guò)率高達(dá)70%左右。 

【文章來(lái)源】：稀有金屬材料與工程. 2016,45(S1)北大核心EISCICSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：5 頁(yè)


本文編號(hào)：3615312