采用溶膠凝膠（sol-gel）法制備出不同Nb摻雜濃度的Nb:TiO₂薄膜,再經(jīng)過后續(xù)H2退火提高結晶性能。用X射線衍射（XRD）,X射線光電子譜（XPS）,掃描電子顯微鏡（SEM）,霍爾儀和紫外可見分光光度計檢測分析樣品的形貌和性能,其中包括結晶性能、元素價態(tài)、電學性能和透過率。結果顯示,摻Nb的TiO₂薄膜的導電率隨Nb濃度的增加而降低,當摻Nb濃度為8%時,樣品具有最優(yōu)異的性能,其方塊電阻可以達到約4.2×104?/□,透過率高達70%左右。 

【文章來源】：稀有金屬材料與工程. 2016,45(S1)北大核心EISCICSCD

【文章頁數(shù)】：5 頁


本文編號：3615312