聚二甲基硅氧烷微泵的制備及其應(yīng)用
【學(xué)位授予單位】:深圳大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2018
【分類號(hào)】:O634.41
【圖文】:
聚二甲基硅氧烷微泵的制備及其應(yīng)用[atm]中的平衡氣體濃度。N2和 O2吸附于 PDMS 中,在比較廣符合亨利定律。氣體溶解在 PDMS 中的平衡濃度與 PDMS 周圍的氣體分壓成片放在一個(gè)真空干燥器(即,P0≈ 10 kPa = 0.1 atm)一段時(shí)間后據(jù)(1)式,脫氣后的 PDMS 中的平衡空氣濃度為 C0= SPDMSSTP)/ cm3,其中 SPDMS≈ 0.8 SN2 0.2 SO2= 0.11 cm3(),P0= 0.1 atm。當(dāng)預(yù)抽真空的 PDMS 片返回到大氣中(即,P),PDMS 的表面開始吸收空氣(主要是 N2和 O2),以達(dá)到新 P1= 0.11 cm3(STP)/ cm3。因此,每 cm3的 PDMS 可以儲(chǔ)存空氣。脫氣后的 PDMS 再存儲(chǔ)空氣就好比于干燥的海綿進(jìn)行的1 所示[24]。
b) 利用PDMS的氣體溶解性或c, d) PDMS的滲透性的不同類型的真空驅(qū)動(dòng)無電源微泵法[13, 14, 26-28]。Fig.2 a, b) Different types of vacuum-driven power-free micropumping methodutilizing the gas solubility or c, d) permeability of PDMS[13, 14, 26-28].如圖 2 所示,圖 2 a) 是一種 2D 設(shè)計(jì)圖案[13, 26],利用氣體溶解性的 PDM泵,將整個(gè)裝置在真空環(huán)境中預(yù)先抽真空。圖 2 b) 是一種利用氣體溶解性DMS 微泵的 3D 設(shè)計(jì)[27],PDMS 平板是在真空環(huán)境中預(yù)抽真空脫氣處理過的 2 c) 利用氣體滲透性的 PDMS 微型泵的 3D 設(shè)計(jì)[14],使外部真空泵連接到器通道的端口。圖 2 d) 利用 PDMS 的氣體滲透性的微型泵的 2D 設(shè)計(jì)[28],注射器可以產(chǎn)生真空環(huán)境。如第 2 節(jié)(方程(3))所討論的,體積流體流量 QS的計(jì)算可以按0 1 0(t) ( )(t) exp( / ) (7)SA D C CQ FA k tl
[29]。圖3 利用氣體PDMS的滲透性和玻璃的毛細(xì)作用力的復(fù)雜泵送方法[29]。Fig.3 A hybrid pumping method that utilizes the gas permeability of PDMSand the capillary effect of glass[29].圖3是一種復(fù)雜的流體泵送方式,該設(shè)備主要有壓力源端口、PDMS薄膜層、頂端玻璃層、玻璃管道層、底部玻璃層五部分組成。其中該設(shè)備的微流控芯片由玻璃制成,通過調(diào)節(jié)控制壓力、PDMS 膜的表面積和厚度,流體流量可實(shí)現(xiàn)從16.67 nL s-1~ 233.34 nL s-1。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是可控性,通過 PDMS 膜的穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散氣體流量 F 可以調(diào)節(jié)泵送流率和各種參數(shù),保持恒定的真空度水平可實(shí)現(xiàn)更長(zhǎng)的泵送能力,以及泵送的雙向性取決于壓力差的極性(即相對(duì)負(fù)或正)。但是,這種方法的缺點(diǎn)是復(fù)雜且多層,如主流道,控制器管道層和薄膜層都是必需的,且控制器通道需要連接外在的真空源。類似于等式(7)計(jì)算體積流體流量 QS
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