基于2D-3D異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)中光學(xué)器件集成化的研究
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2018
【分類號】:O734
【圖文】:
..圖1-2邋(a)通過單個缺陷捕獲光子的示意圖。(b)鏡像對稱woodpile結(jié)構(gòu)納米微腔示意圖。逡逑Fig.邋1-2邋(a)邋Schematic邋of邋trapping邋of邋photons邋by邋a邋single邋defect,邋(b)邋Schematic邋of邋nanocavity邋in邋a逡逑mirror-symmetric邋woodpile邋structure.逡逑Nakamum邋[31]平板打孔型二維光子晶體,通過調(diào)節(jié)介質(zhì)孔的位置得到L3和HO
逡逑顯示出相等的歸一化功率分布,分別為29.6%、28.9%、30.5%。如圖1-3所示,丁3111'1^#71逡逑發(fā)現(xiàn)在0.3THZ頻段中平板打孔型二維光子晶體的傳播損耗取決于材料損耗而不是輻逡逑射損耗,分別改變硅基板的電阻率、長度和彎曲次數(shù),得出隨著電阻率增大傳播損耗逡逑減低,并在較高電阻率(20KQ/cm)情況下,,將損耗降到最低,傳播和彎曲損耗分別逡逑為邋O.ldB/cm邋(0.326?0_331THz)和邋0.2dB/cm邋(0.323?0.331THZ)。逡逑\邋MIST逡逑\fflH200邋Mm逡逑k-邐i邐1N逡逑a邋r邋=邋0邋30a邐300邋pm逡逑圖1-3二維光子晶體波導(dǎo)示意圖。實驗樣品俯視圖和截面電鏡照片。逡逑Fig.邋1-3邋Schematic邋of邋two-dimensional邋photonic邋crystal邋waveguide邋system.邋Top邋and邋cross-sectional逡逑scanning邋electron邋micrographs邋of邋fabricated邋sample邋are邋inserted.逡逑1.2.3傳感器逡逑基于光子晶體的傳感器具有靈敏度高、穩(wěn)定性好、小型化、遠程監(jiān)控等優(yōu)勢,可逡逑以分為氣體傳感器、固體傳感器、液體傳感器等,F(xiàn)在研究最多也最深入的是氣體傳逡逑感器,我們可以將氣體傳感器分為一維光子晶體微腔、二維光子晶體線缺陷微腔、異逡逑質(zhì)結(jié)微腔等。Mohebbi【38l研宄了基于光學(xué)諧振的新型光學(xué)傳感器在一維硅光子晶體中逡逑的應(yīng)用,在光子晶體中引入微腔來檢測紅外波長區(qū)域中折射率的變化情況,通過線性逡逑的改變微腔兩側(cè)光子晶體中空氣層的厚度
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