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電感耦合等離子體離子源氣體溫度特性數(shù)值模擬分析

發(fā)布時間:2018-11-12 12:54
【摘要】:采用以流場為主耦合電磁場的計算流體力學(xué)方法分析ICP離子源的溫度特性,并比較加載采樣錐前后其溫度特性的變化。由于采樣錐和炬管構(gòu)成了相對封閉的空間,加載采樣錐后大部分區(qū)域溫度偏高。在采樣錐附近等離子體通道效應(yīng)明顯,中心通道溫度從25mm附近開始急劇上升到8 000K左右,在采樣錐口前1mm左右急劇下降到6 000K左右。用Discrete Phase Model(DPM)模型分析了不同直徑氣溶膠顆粒對中心通道氣體溫度的影響,發(fā)現(xiàn)顆粒直徑太大會影響中心通道氣體溫度的穩(wěn)定性,而直徑幾微米的氣溶膠顆粒電離效率較高。
[Abstract]:The temperature characteristics of ICP ion source were analyzed by using the computational fluid dynamics (CFD) method with the flow field as the main coupling electromagnetic field, and the temperature characteristics of the ICP ion source were compared before and after loading the sampling cone. Because the sampling cone and torch make up a relatively closed space, the temperature of most of the area after loading the sampling cone is on the high side. The plasma channel effect is obvious in the vicinity of the sampling cone. The temperature of the central channel rises sharply from near 25mm to about 8,000 K, and the 1mm decreases sharply to about 6,000 K before the sampling cone. The influence of aerosol particles of different diameters on the gas temperature of the central channel is analyzed by using Discrete Phase Model (DPM) model. It is found that the particle diameter is too large to affect the stability of the gas temperature in the central channel, while the ionization efficiency of aerosol particles with a diameter of several microns is higher.
【作者單位】: 國防科學(xué)技術(shù)大學(xué)理學(xué)院;西北核技術(shù)研究所;
【基金】:國家重大科學(xué)儀器專項(2012YQ250003)資助
【分類號】:O657.31

【相似文獻】

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3 包成玉,馮文源,劉錫明;激光熒光法測量氣體溫度的實驗研究[J];清華大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);1996年06期



本文編號:2327164

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