本文選題：石墨烯 + 場效應(yīng)晶體管��； 參考：《物理學(xué)報》2017年21期

【摘要】：石墨烯因具有優(yōu)良的電學(xué)特性,在半導(dǎo)體行業(yè)中受到廣泛關(guān)注,特別因其具有超薄的結(jié)構(gòu)和極高的載流子遷移率,為解決短溝道效應(yīng)提供了可能,并且在高速電子領(lǐng)域具有應(yīng)用前景.近年來,使用石墨烯作為溝道材料制備射頻晶體管及射頻電路是發(fā)揮石墨烯材料優(yōu)勢的一個重要研究方向.制造高性能的射頻器件,首先要制備出高性能的石墨烯材料.在金屬襯底上沉積均勻的單層石墨烯材料或者在絕緣襯底上外延生長單層、雙層石墨烯材料都是獲得高質(zhì)量石墨烯材料的常用方法.器件結(jié)構(gòu)及工藝流程的設(shè)計也是提升晶體管射頻性能的重要因素,多指柵結(jié)構(gòu)、T型柵結(jié)構(gòu)、埋柵結(jié)構(gòu)以及自對準(zhǔn)工藝的發(fā)展能夠有效改善石墨烯射頻晶體管的截止頻率及最大振蕩頻率.石墨烯晶體管獨(dú)特的電學(xué)特性使得其除了可以構(gòu)造與其他半導(dǎo)體材料電路相似的射頻電路結(jié)構(gòu),還可以構(gòu)造出功能完整并且結(jié)構(gòu)更加簡單的新型射頻電路結(jié)構(gòu).
[Abstract]:Because of its excellent electrical properties, graphene has attracted wide attention in semiconductor industry, especially because of its ultra-thin structure and extremely high carrier mobility, which makes it possible to solve the short channel effect. And has the application prospect in the high-speed electronics domain. In recent years, the use of graphene as channel material to fabricate RF transistors and RF circuits is an important research direction to give play to the advantages of graphene materials. To fabricate high-performance RF devices, high-performance graphene materials must be prepared. Monolayer graphene materials deposited on metal substrates or monolayers grown on insulating substrates are common methods for obtaining high quality graphene materials. The design of device structure and technological process is also an important factor in improving the RF performance of transistors. The development of buried gate structure and self-alignment technology can effectively improve the cutoff frequency and maximum oscillation frequency of graphene RF transistors. The unique electrical properties of graphene transistors make it possible not only to construct RF circuit structures similar to other semiconductor circuits, but also to construct new RF circuit structures with complete functions and simpler structures.
【作者單位】： 清華大學(xué)微電子所;萊斯大學(xué);清華信息科學(xué)與技術(shù)國家實驗室;
【基金】：國家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃(批準(zhǔn)號:2013CBA01604) 國家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號:61377106,61474072) 北京市自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號:4162031)資助的課題~~
【分類號】：O613.71;TN386

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本文編號：1996707