本文選題：金剛石飛切　切入點(diǎn)：波紋誤差　出處：《振動(dòng).測試與診斷》2017年02期

【摘要】：頻率辨識(shí)是消除或抑制KDP晶體超精密金剛石飛切軌跡波紋誤差的重要前提。針對(duì)該問題,提出了一種基于空間頻率變換的飛切軌跡波紋誤差辨識(shí)方法。該方法通過提取表面飛切軌跡上的輪廓幅值,計(jì)算其波紋誤差的空間頻率,然后采用飛切線速度進(jìn)行轉(zhuǎn)換,獲得時(shí)間域上的頻率值,實(shí)現(xiàn)波紋誤差特征頻率的準(zhǔn)確分離。將誤差特征頻率與切削振動(dòng)頻率、機(jī)床氣浮主軸系統(tǒng)的固有頻率進(jìn)行對(duì)比分析,明確了氣浮主軸在斷續(xù)切削力作用下產(chǎn)生的自激振動(dòng)和來自電機(jī)的受迫振動(dòng)是導(dǎo)致KDP晶體金剛石飛切波紋誤差的根本原因。在此基礎(chǔ)上,通過對(duì)主軸驅(qū)動(dòng)及結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,工藝實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,大口徑KDP晶體飛切后的PSD1(2.5~33mm)頻段內(nèi)波紋誤差RMS值由53nm降低至12nm。
[Abstract]:Frequency identification is an important prerequisite to eliminate or suppress the corrugation error of ultra-precision diamond flight path in KDP crystal.In order to solve this problem, a new method based on spatial frequency transform is proposed to identify the corrugation error of flight path.The spatial frequency of the corrugation error is calculated by extracting the contour amplitude of the surface flight path, and then the frequency value in the time domain is obtained by using the flying tangent velocity to realize the accurate separation of the characteristic frequency of the corrugation error.The error characteristic frequency is compared with the cutting vibration frequency and the natural frequency of the machine tool air floating spindle system.
【作者單位】： 中國工程物理研究院機(jī)械制造工藝研究所;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51305413) 中物院科技專項(xiàng)資助項(xiàng)目(9120602) 四川省科技支撐計(jì)劃資助項(xiàng)目(16ZC1083) 四川省科技創(chuàng)新苗子工程資助項(xiàng)目(2016RZ0047)
【分類號(hào)】：O786

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本文編號(hào)：1706012