本文關鍵詞：石墨平臺微結構的納米級紅外光譜表征　出處：《紅外技術》2016年11期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：具有原子級光滑平面的石墨平臺微結構是實現特殊功能微機電器件、微系統的重要基礎。石墨微結構的化學信息表征對微機電器件、微系統的制備及性能有著重要的意義。先使用原子力顯微鏡獲得形貌信息,再使用納米級紅外光譜對微結構的不同區(qū)域進行表征,獲得了多個特征位置的紅外光譜。通過對紅外光譜的分析發(fā)現相對于其他位置,石墨平臺表面具有非常有序的碳六元環(huán)結構,并且吸附的水分子最少。而石墨平臺微結構的邊緣由于懸鍵及微加工等原因是吸附水分子最多的位置,石墨基底由于微加工的破壞已經不具有碳六元環(huán)結構。這些信息為了解微結構的化學狀態(tài)提供了幫助,明確所處環(huán)境對石墨平臺微結構不同位置的影響,能夠指導微機電器件的制備與應用。
[Abstract]:The graphite platform microstructure with a smooth plane of atomic level is an important basis for the realization of special functional microprocessor-based electrical appliances and micro systems. The characterization of chemical information of graphite microstructures is of great significance to the preparation and performance of microelectromechanical devices and microsystems. First, the atomic force microscope was used to obtain the morphology information. Then the different regions of the microstructure were characterized by nano scale infrared spectroscopy, and the infrared spectra of multiple characteristic positions were obtained. The analysis of infrared spectra shows that the surface of the graphite platform has a very ordered carbon six membered ring structure compared with other locations, and the adsorbed water molecules are the least. While the edge of the graphite platform microstructure is the location of the most adsorbed water molecules due to dangling and microfabrication. The graphite substrate has no carbon six membered ring structure due to the failure of microfabrication. These information can help to understand the chemical state of microstructures, clarify the influence of environment on different positions of graphite platform, and guide the preparation and application of microelectronic devices.
【作者單位】： 軍械工程學院電子與光學工程系;清華大學精密儀器系;清華大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金(51375263) 國家重大科學研究計劃(2013CB934200)資助的課題
【分類號】：O613.71;O657.33
【正文快照】： 2016年11月史云勝等:石墨平臺微結構的納米級紅外光譜表征Nov.20160引言石墨具有很多極端的物理性質,如超高面內剛度、良好導電率和極高熱導率[1-3]。通過微加工在石墨表面制作的微米尺度平臺狀微結構可以獲得具有原子級光滑的石墨平面,并可能用來制備具有特殊功能的微機電系

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