本文關鍵詞：大尺寸四硼酸鋰壓電晶體轉向生長　出處：《硅酸鹽學報》2016年10期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：四硼酸鋰(Li_2B_4O_7,LBO)晶體是一種性能優(yōu)異的壓電基片材料,坩堝下降法生長的直徑為76 mm LBO晶體已成功應用于聲表面波(SAW)和體波(BW)器件。由于硼酸鹽熔體粘度大、晶體易開裂,生長直徑為102 mm的LBO晶體產(chǎn)業(yè)化還有很大難度。本工作根據(jù)坩堝下降法技術特點,提出了轉向生長LBO晶體的工藝方案,成功生長出60 mm×110 mm×120 mm板狀晶體。晶體沿[001]方向快速生長,側面主面為(110)。生長的板狀晶體經(jīng)準確定向、加工后即可獲得高度60 mm、直徑為102 mm(4 in)的[110]取向LBO晶體,生長速率和晶體產(chǎn)率較傳統(tǒng)方法都有顯著提高。
【作者單位】： 上海應用技術大學材料科學與工程學院晶體生長研究所;中國科學院上海硅酸鹽研究所;
【基金】：國家自然科學基金項目(51472263)
【分類號】：O782
【正文快照】： 壓電晶體是能夠實現(xiàn)機械能與電能相互轉換的一類功能晶體材料,水晶、鈮酸鋰(Li Nb O3)、鉭酸鋰(Li Ta O3)是工業(yè)上最常用的壓電晶體材料,廣泛用于制作諧振器、濾波器、換能器等電子元器件[1]。四硼酸鋰(Li2B4O7,LBO)晶體是上世紀90年代發(fā)展起來的一種新型溫度補償型聲表面波(S

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4 刁千順;，

本文編號：1308859