CVD法制備Pt改性鋁化物涂層工藝及性能研究
【學位單位】:機械科學研究總院
【學位級別】:碩士
【學位年份】:2019
【中圖分類】:V263;TG174.4
【部分圖文】:
圖 1-3 典型 Pt 改性鋁化物涂層結(jié)構(gòu)示意圖[39]本文研究目的與內(nèi)容1 研究目的雖然 Pt 改性鋁化物涂層的研究已經(jīng)持續(xù)很多年,但是這些研究對于其作用有統(tǒng)一的說法,所以一直以來對該方面的研究熱度不減。且目前國內(nèi)目前物涂層的研究制備大多使用的是粉末包埋法和傳統(tǒng)的氣相滲鋁,而對于 物涂層的制備及涂層性能研究并不多見。盡管 Pt 元素對提高鋁化物涂層的氧化性能是公認的,但是這些研究對于 Pt 引起抗氧化性增強的作用機理并的說法,所以還要著重于對改性元素作用機理的基礎研究,來進一步驗化物涂層性能的影響機制。目前,已經(jīng)報道的有關 β-(Ni,Pt)Al 單相、PtAl2蝕涂層及 PtAl2+β-(Ni,Pt)Al 雙相涂層的性能研究,但鮮有對這些種涂層性研究。2 研究內(nèi)容
本研究總體設計方案與思路流程圖
圖 2-1 電鍍 Pt 實驗裝置實物圖2.2.2 CVD 制備鋁化物涂層設備CVD 內(nèi)腔鋁化物涂層設備設計成雙室結(jié)構(gòu)——滲劑發(fā)生器和高溫反應室。設備示意圖如圖 2-2 所示。CVD 鋁化物涂層制備系統(tǒng)主要包括控制系統(tǒng)、反應系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)。控制系統(tǒng)包括氣體流量、溫度、壓力、時間以及設備運行自動化控制;反應系統(tǒng)主要包括滲劑發(fā)生器和 CVD 反應沉積室;冷卻系統(tǒng)是通過在密封圈周圍設計安裝水冷卻套來達到降溫的目的,來保護在高溫工作條件下的密封圈;尾氣處理系統(tǒng)主要包括冷卻過濾和尾氣處理,冷卻過濾主要是除去尾氣中的氣態(tài)鹵化物,尾氣處理主要是通過中和,除去尾氣中的 HCl 氣體。
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本文編號:2811805
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