CVD法制備Pt改性鋁化物涂層工藝及性能研究
【學(xué)位單位】:機(jī)械科學(xué)研究總院
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位年份】:2019
【中圖分類】:V263;TG174.4
【部分圖文】:
圖 1-3 典型 Pt 改性鋁化物涂層結(jié)構(gòu)示意圖[39]本文研究目的與內(nèi)容1 研究目的雖然 Pt 改性鋁化物涂層的研究已經(jīng)持續(xù)很多年,但是這些研究對(duì)于其作用有統(tǒng)一的說法,所以一直以來對(duì)該方面的研究熱度不減。且目前國(guó)內(nèi)目前物涂層的研究制備大多使用的是粉末包埋法和傳統(tǒng)的氣相滲鋁,而對(duì)于 物涂層的制備及涂層性能研究并不多見。盡管 Pt 元素對(duì)提高鋁化物涂層的氧化性能是公認(rèn)的,但是這些研究對(duì)于 Pt 引起抗氧化性增強(qiáng)的作用機(jī)理并的說法,所以還要著重于對(duì)改性元素作用機(jī)理的基礎(chǔ)研究,來進(jìn)一步驗(yàn)化物涂層性能的影響機(jī)制。目前,已經(jīng)報(bào)道的有關(guān) β-(Ni,Pt)Al 單相、PtAl2蝕涂層及 PtAl2+β-(Ni,Pt)Al 雙相涂層的性能研究,但鮮有對(duì)這些種涂層性研究。2 研究?jī)?nèi)容
本研究總體設(shè)計(jì)方案與思路流程圖
圖 2-1 電鍍 Pt 實(shí)驗(yàn)裝置實(shí)物圖2.2.2 CVD 制備鋁化物涂層設(shè)備CVD 內(nèi)腔鋁化物涂層設(shè)備設(shè)計(jì)成雙室結(jié)構(gòu)——滲劑發(fā)生器和高溫反應(yīng)室。設(shè)備示意圖如圖 2-2 所示。CVD 鋁化物涂層制備系統(tǒng)主要包括控制系統(tǒng)、反應(yīng)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)?刂葡到y(tǒng)包括氣體流量、溫度、壓力、時(shí)間以及設(shè)備運(yùn)行自動(dòng)化控制;反應(yīng)系統(tǒng)主要包括滲劑發(fā)生器和 CVD 反應(yīng)沉積室;冷卻系統(tǒng)是通過在密封圈周圍設(shè)計(jì)安裝水冷卻套來達(dá)到降溫的目的,來保護(hù)在高溫工作條件下的密封圈;尾氣處理系統(tǒng)主要包括冷卻過濾和尾氣處理,冷卻過濾主要是除去尾氣中的氣態(tài)鹵化物,尾氣處理主要是通過中和,除去尾氣中的 HCl 氣體。
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本文編號(hào):2811805
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