發(fā)布時(shí)間：2017-09-20 23:13

  本文關(guān)鍵詞：靜電卡盤與晶圓之間的接觸熱阻研究

  更多相關(guān)文章： 接觸導(dǎo)熱 氣體導(dǎo)熱 熱阻 靜電卡盤 晶圓 稀薄氣體 影響因素

【摘要】：在等離子體刻蝕工藝中,晶圓的溫度控制是關(guān)鍵的技術(shù)之一�？刂凭A溫度的主要部件即是靜電卡盤,因此靜電卡盤與晶圓之間的接觸熱阻研究至關(guān)重要。晶圓是依靠靜電而吸附在靜電卡盤表面的,且粗糙接觸面之間充有稀薄的氦氣。本文將靜電吸附的因素引入到經(jīng)典的接觸傳熱理論中,建立了靜電卡盤與晶圓之間的接觸傳熱模型,并研究了靜電電壓和氣體壓強(qiáng)對(duì)于接觸傳熱系數(shù)的影響。此外,本文結(jié)合作者先前研究中建立并得到驗(yàn)證的全范疇氣體導(dǎo)熱模型,對(duì)靜電吸附作用下的接觸導(dǎo)熱和稀薄氣體條件下的氣體導(dǎo)熱進(jìn)行了對(duì)比,得到了接觸導(dǎo)熱對(duì)總的導(dǎo)熱效果的貢獻(xiàn)比例。本文的研究有助于揭示靜電卡盤和晶圓之間的傳熱機(jī)理,以及二者之間接觸熱阻的計(jì)算。
【作者單位】： 清華大學(xué)摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室機(jī)械工程系;
【關(guān)鍵詞】： 接觸導(dǎo)熱 氣體導(dǎo)熱 熱阻 靜電卡盤 晶圓 稀薄氣體 影響因素
【基金】：國(guó)家科技重大專項(xiàng)02(2011ZX02403) 國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51175284)
【分類號(hào)】：TK124
【正文快照】： 在理想情況下,通過(guò)壁面和柱面的熱流控制方程并沒(méi)有考慮在壁面和柱面接觸面處的對(duì)于熱流存在的阻力現(xiàn)象[1]。也就是說(shuō)在不同材料的交界面上,通常認(rèn)為接觸面兩側(cè)溫度是相同的,即是假設(shè)了兩接觸面之間保持了良好的接觸。但在微觀角度上,固體表面往往是粗糙不平的,其上布滿了高低

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 馮麗娜;高效率的精密卡盤[J];機(jī)電新產(chǎn)品導(dǎo)報(bào);2004年07期

2 黃偉馨;;簡(jiǎn)便的分度卡盤[J];機(jī)械工人;1957年12期

3 岳文禮;КАМ-500型鉆機(jī)六方主動(dòng)卡盤介紹[J];探礦工程;1958年07期

4 楊偉達(dá);兩用主動(dòng)卡盤[J];探礦工程;1959年07期

5 東濤;超高速用卡盤[J];機(jī)床;1980年11期

6 牛鳳祥;張華林;;隨心卡盤[J];機(jī)械工人.冷加工;1980年07期

7 王朋年;;車偏心卡盤[J];機(jī)械工人.冷加工;1981年11期

8 李連生,陳達(dá),程鈞,王廷義,徐金橋;國(guó)外卡盤簡(jiǎn)介[J];機(jī)床;1985年01期

9 葉正元;;新型萬(wàn)能卡盤[J];機(jī)械工藝師;1988年03期

10 葉正元;;新型萬(wàn)能卡盤[J];機(jī)械工人.冷加工;1988年06期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 魏嵬;劉明球;;起下耐腐蝕合金管材的新鑲嵌式卡盤/吊卡[A];2004年石油裝備年會(huì)暨慶祝江漢機(jī)械研究所建所40周年學(xué)術(shù)研討會(huì)論文集[C];2004年

2 李桂生;劉鐵良;;CAD技術(shù)在機(jī)床卡盤圓錐齒輪齒形設(shè)計(jì)中的應(yīng)用[A];2001年冀晉蒙豫魯鄂川滬云貴十省區(qū)機(jī)械工程學(xué)會(huì)學(xué)術(shù)研討會(huì)論文集（內(nèi)蒙古分冊(cè)）[C];2001年

3 朱桂林;;高效一體式卡盤鑰匙刀架扳手開(kāi)發(fā)與應(yīng)用[A];中國(guó)職協(xié)2013年度優(yōu)秀科研成果獲獎(jiǎng)?wù)撐募ㄉ蟽?cè)）[C];2013年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 周城;數(shù)控機(jī)床高速液壓動(dòng)力卡盤的研究[D];浙江大學(xué);2011年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 趙軍;高速卷繞頭卡盤軸的動(dòng)態(tài)特性研究[D];西安工程大學(xué);2013年

2 李青;液壓動(dòng)力卡盤的失效分析和優(yōu)化[D];上海交通大學(xué);2014年

，

本文編號(hào)：890959