本文關(guān)鍵詞：精密氣浮工作臺動態(tài)特性仿真與優(yōu)化，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：為提高精密氣浮工作臺的工作性能,在分析氣浮軸承承載特性的基礎(chǔ)上,對氣浮工作臺進(jìn)行多體動力學(xué)建模與仿真。參數(shù)化多體動力學(xué)模型,創(chuàng)建模型的設(shè)計變量與目標(biāo)變量,編寫目標(biāo)變量評價程序,使用Isight集成了優(yōu)化仿真模型,優(yōu)化了設(shè)計變量,提高了工作臺的穩(wěn)定性,縮短了工作臺的收斂時間。優(yōu)化結(jié)果表明:對工作臺的優(yōu)化設(shè)計改善了工作臺的穩(wěn)定性,減小了工作臺在步進(jìn)掃描過程中的收斂時間與振幅。
【作者單位】： 中國工程物理研究院材料研究所;
【關(guān)鍵詞】： 精密氣浮工作臺 動態(tài)特性 參數(shù)優(yōu)化
【分類號】：TH703;TH133.3
【正文快照】： 精密氣浮工作臺由于具有運(yùn)動精度高、動力學(xué)性能優(yōu)良、清潔等優(yōu)點(diǎn)廣泛運(yùn)用于超精密儀器與設(shè)備,其典型運(yùn)用便是為IC產(chǎn)業(yè)核心設(shè)備之一的光刻機(jī)提供納米級運(yùn)動與定位精度。作為光刻機(jī)的核心子系統(tǒng),工作臺的動力學(xué)性能與動態(tài)特性對光刻機(jī)的精度影響至關(guān)重要。在精密氣浮工作臺工作

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王海衛(wèi),廖杏黃,裴先登;高性能光盤系統(tǒng)徑向動態(tài)特性數(shù)學(xué)模型研究[J];華中科技大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2005年11期

2 徐炳楠 ,應(yīng)閏蘭 ,鄭懷歐;用正交同步補(bǔ)償法研究旋轉(zhuǎn)軸系的動態(tài)特性[J];同濟(jì)大學(xué)學(xué)報;1982年03期

3 王麗芳;車輛動態(tài)特性場的研究[J];公路交通科技;1999年01期

4 李國順,文振華,傅勤毅,曾韜;主動控制空氣支承動態(tài)特性的研究與優(yōu)化[J];機(jī)械工程學(xué)報;2002年05期

5 吳愛祥;古德生;;振動場中松散礦石動態(tài)特性的研究[J];中南礦冶學(xué)院學(xué)報;1991年03期

6 周志娟;;影響液壓機(jī)械無級變速器動態(tài)特性三個因素分析[J];科技資訊;2012年14期

7 叢明;王貴飛;劉東;宋健;董欣勝;;高速臥式鏜銑加工中心立柱動態(tài)特性有限元分析[J];組合機(jī)床與自動化加工技術(shù);2011年08期

8 張克仁,顏景平;包裝箱跌落過程中的動態(tài)特性[J];包裝工程;1989年04期

9 白美卿，高富強(qiáng);關(guān)于爐溫動態(tài)特性的分析[J];冶金自動化;1994年04期

10 章銀根，經(jīng)以廣，王可;如何預(yù)測大型設(shè)計機(jī)床的動態(tài)特性[J];機(jī)械設(shè)計與制造;1996年03期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 李曉舟;孫拂曉;;細(xì)長件加工動態(tài)特性的研究[A];科技創(chuàng)新與節(jié)能減排——吉林省第五屆科學(xué)技術(shù)學(xué)術(shù)年會論文集（上冊）[C];2008年

2 肖世富;杜強(qiáng);胡紹全;向榮山;徐有剛;;離心場中結(jié)構(gòu)單元的動態(tài)特性[A];中國工程物理研究院科技年報（1999）[C];1999年

3 谷卓偉;金孝剛;張清福;孫悅;;高溫下HR-2抗氫鋼的動態(tài)特性[A];中國工程物理研究院科技年報（1999）[C];1999年

4 顧元憲;亢戰(zhàn);張洪武;;結(jié)構(gòu)動態(tài)特性響應(yīng)優(yōu)化設(shè)計的數(shù)值方法[A];計算力學(xué)研究與進(jìn)展——中國力學(xué)學(xué)會青年工作委員會第三屆學(xué)術(shù)年會論文集[C];1999年

5 曹宗杰;鮑海利;;不同裝載方案對某型運(yùn)輸飛機(jī)動態(tài)特性影響的研究[A];現(xiàn)代振動與噪聲技術(shù)（第九卷）[C];2011年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 何極峰;基于單片機(jī)的可配置動態(tài)特性補(bǔ)償濾波器設(shè)計與應(yīng)用研究[D];南京理工大學(xué);2016年

2 李晴朝;基于“S”形檢驗試件的機(jī)床動態(tài)特性與加工精度關(guān)系分析[D];電子科技大學(xué);2016年

3 周潔;柴油機(jī)曲軸主動再制造特征參數(shù)分析方法[D];合肥工業(yè)大學(xué);2016年

4 唐天新;帶式輸送機(jī)的動態(tài)分析及工藝優(yōu)化研究[D];山東大學(xué);2016年

5 肖毅川;考慮結(jié)合面特性的多段梁結(jié)構(gòu)動態(tài)特性的研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2010年

6 劉宗山;機(jī)械固定結(jié)合面動態(tài)特性及建模研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2012年

7 陳中青;基于有限元方法的結(jié)合面動態(tài)特性參數(shù)辨識及應(yīng)用研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2012年

8 蘇厚軍;沖壓類機(jī)械動態(tài)特性和故障診斷問題的研究[D];華中科技大學(xué);2004年

9 王松濤;典型機(jī)械結(jié)合面動態(tài)特性及其應(yīng)用研究[D];昆明理工大學(xué);2008年

10 盧麗;高速大慣量取樣裝置過渡過程動態(tài)特性的分析與研究[D];鄭州大學(xué);2009年

  本文關(guān)鍵詞：精密氣浮工作臺動態(tài)特性仿真與優(yōu)化，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

，

本文編號：408593