高可靠長壽命小型超高真空密封器件已在很多重要領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,微型離子泵成為其運(yùn)行的保障。對(duì)于不允許高溫烘烤去氣的小型真空器件,儲(chǔ)存一段時(shí)間后由于累積出氣導(dǎo)致氣壓超過微型離子泵的啟動(dòng)壓強(qiáng),而使整個(gè)器件報(bào)廢。在超高真空下的離子泵抽氣有局限性,有待提高。本課題正是在這樣的背景下,研究吸氣劑與微型離子泵復(fù)合的方案,使器件壓強(qiáng)保持在較低的水平下,從而保障了微型離子泵的有效啟動(dòng),避免真空密閉器件的報(bào)廢,提高其極限真空性能。本論文研究了由微型濺射離子泵和非蒸散型吸氣劑集成的微型離子/非蒸散型吸氣劑復(fù)合泵。選用意大利SAES公司的非蒸散型吸氣劑ST172,可低溫激活并適合于在器件封口后不再暴露大氣的條件下長期應(yīng)用。研究了ST172在不同溫度下的激活效果,針對(duì)器件的特殊材料特性設(shè)計(jì)了吸氣劑的激活工藝,并且制作出相應(yīng)的激活設(shè)備,解決了激活過程可能對(duì)器件造成損壞的問題。測(cè)試了吸氣劑對(duì)密閉器件的存儲(chǔ)特性的改善,考察了吸氣劑對(duì)于微型復(fù)合離子泵的抽速和極限真空的提高。研究了不同氣載下非蒸散型吸氣劑對(duì)離子泵啟動(dòng)特性的影響,得到啟動(dòng)過程中的氣壓、電壓和電流曲線。實(shí)驗(yàn)測(cè)得吸氣劑出氣對(duì)復(fù)合泵離子流-壓強(qiáng)關(guān)系的影響,給出... 

【文章來源】：清華大學(xué)北京市 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：79 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

濺射離子泵的基本結(jié)構(gòu)示意圖

微型單筒濺射離子泵（無磁屏蔽殼）剖面示意圖：(a)縱向；（b）橫向；

氣劑材料的不斷發(fā)展，非蒸散型吸氣劑（NEG）得到對(duì)氫很強(qiáng)的抽除性能使得人們可以將吸氣劑組件與濺合泵，提高抽氣性能。下圖所示就是美國 VARIAN 公復(fù)合濺射離子泵[20][21]。

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3547867