在新興的半導(dǎo)體工業(yè)中芯片、光學(xué)通訊元器件及平板顯示器等產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中,無(wú)油分子泵、低溫泵等干式中高真空泵得到了廣泛的應(yīng)用。與這些干式中高真空泵相配合的前級(jí)低真空泵大多是傳統(tǒng)的油封式真空泵。為降低油污染,通常在中高真空泵與低真空泵之間串接入冷阱,但此方法已經(jīng)不能滿(mǎn)足真空環(huán)境潔凈度的要求了。因此,研制和開(kāi)發(fā)性能價(jià)格比高、壽命長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、抽氣效率高的干式真空泵成為當(dāng)前乃至今后相當(dāng)長(zhǎng)一個(gè)時(shí)期的真空科技人員迫切需要解決的問(wèn)題之一。在眾多的干式真空泵中,多級(jí)羅茨型干式真空泵是備受半導(dǎo)體、光學(xué)器件等高科技行業(yè)青睞的一種容積式干式真空泵。本課題圍繞多級(jí)羅茨型干式真空泵的主要關(guān)鍵部件——羅茨轉(zhuǎn)子,作出以下具體工作：通過(guò)計(jì)算機(jī)模擬創(chuàng)成法,對(duì)三種常用羅茨轉(zhuǎn)子型線進(jìn)行了分析。然后在漸開(kāi)線型轉(zhuǎn)子型線設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)了改進(jìn)圓弧型轉(zhuǎn)子型線。并通過(guò)容積利用系數(shù)和嚙合間隙的分布等方面對(duì)型線進(jìn)行分析和比較,最后由于改進(jìn)圓弧型轉(zhuǎn)子型線容積利用系數(shù)較大、嚙合間隙分布平穩(wěn)等優(yōu)點(diǎn),采用改進(jìn)圓弧型轉(zhuǎn)子型線作為多級(jí)羅茨干泵的轉(zhuǎn)子型線。對(duì)多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子的加工方法進(jìn)行探討。針對(duì)轉(zhuǎn)子的特殊型線,擬定出數(shù)控線切割加工、普通車(chē)床上加工和2... 

【文章來(lái)源】：東北大學(xué)遼寧省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：71 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

羅茨泵結(jié)構(gòu)

在隨后的150多年里，許多學(xué)者和機(jī)械師相繼對(duì)羅茨泵轉(zhuǎn)子型線進(jìn)行修正和發(fā)展，以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需求。rgoo年，美國(guó)人 Ralphe.Enyart[6]對(duì)羅茨型線作了改進(jìn)，發(fā)明了如圖1.3所示的羅茨型傳輸泵。1955年，德國(guó)人發(fā)明了羅茨真空泵閉;1964年，美國(guó)人 Forresto.E.Schultz發(fā)明了羅茨壓縮機(jī);1970年，意大利出現(xiàn)了運(yùn)用羅茨轉(zhuǎn)子.進(jìn)行液體精確計(jì)量的羅茨流量計(jì)(也稱(chēng)作腰輪流量計(jì))[8]。在羅茨真空泵應(yīng)用20年之后，德國(guó)人clausWinkelstrater等人將這種結(jié)構(gòu)用于羅茨真空泵的設(shè)計(jì)上，從而發(fā)明了具有氣冷式結(jié)構(gòu)、可直排大氣的多級(jí)羅茨干泵[9]。藺窗C二)夕一一一蒲圖1.3美國(guó)人 RalphC.E叮art發(fā)明的羅茨傳輸泵 Fig.1.3RootstransfersPumPinventedbyAmerieanRalPhC.En)‘a(chǎn)rt德國(guó)學(xué)者 JHelming[‘0，川撰文介紹了這種多級(jí)羅茨干泵的氣冷原理、極限壓力、抽氣性能、能量消耗和加熱控溫等，指出這種泵采用兩根轉(zhuǎn)子軸在齒輪端固定的懸壁梁式結(jié)構(gòu)

次提到圓弧轉(zhuǎn)子型線[45】。本節(jié)對(duì)圓弧和圓弧包絡(luò)線進(jìn)行了研究，并將其應(yīng)用于羅茨轉(zhuǎn)子理論型線的設(shè)計(jì)中。為簡(jiǎn)化問(wèn)題，使用兩個(gè)互相嚙合的節(jié)圓代替一對(duì)羅茨轉(zhuǎn)子，如圖2.5(a)所示。為研究問(wèn)題的方便，假定轉(zhuǎn)子1不動(dòng)，則轉(zhuǎn)子2作行星運(yùn)動(dòng)，即轉(zhuǎn)子2在繞自身中心作逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)，還要繞轉(zhuǎn)子1中心逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)。我們繪制出轉(zhuǎn)子2上一段圓弧所在的圓Q，用圓Q代替轉(zhuǎn)子2，采用openGL技術(shù)和vc+十編程工具[27，28]

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]雙向數(shù)控曲面刨床[J]. 張璽錕.  機(jī)械與電子. 2006(04)
[2]偏心圓弧羅茨轉(zhuǎn)子型線的研究[J]. 徐文兵,于振華,胡煥林.  真空. 2006(01)
[3]適用于氣冷式直排大氣羅茨泵的一種轉(zhuǎn)子型線[J]. 王曉虎,俞玲華,張寶夫,羅根松.  真空. 2005(05)
[4]提高羅茨泵最大零流量壓縮比的探討[J]. 任躍軍,俞玲華,陳順良.  真空. 2004(04)
[5]羅茨泵主要性能指標(biāo)與轉(zhuǎn)子型線加工誤差[J]. 金建華,王西龍,陳順良.  真空. 2003(02)
[6]基片溫度對(duì)Cr薄膜微結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能的影響[J]. 勞技軍,韓增虎,胡曉萍,李戈揚(yáng),楊春生.  電子顯微學(xué)報(bào). 2002(05)
[7]氣冷式直排大氣羅茨真空泵及機(jī)組的熱平衡計(jì)算[J]. 曹羽,羅根松.  真空. 2002(02)
[8]數(shù)控技術(shù)在羅茨鼓風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)子型面加工上新的應(yīng)用[J]. 王寧.  風(fēng)機(jī)技術(shù). 2001(03)
[9]干式真空泵的原理、特征及其應(yīng)用[J]. 楊乃恒.  真空. 2000(03)
[10]羅茨鼓風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)子漸開(kāi)線型線設(shè)計(jì)與加工[J]. 張永宇,楊飛龍,周萬(wàn)春,邢金壘.  鄭州工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào). 1999(03)

碩士論文
[1]基于PLC的羅茨鼓風(fēng)機(jī)葉面數(shù)控加工系統(tǒng)研究[D]. 李洪波.浙江大學(xué) 2003



本文編號(hào)：3536259