【摘要】： 在工業(yè)制造過程中,非接觸搬運技術(shù)由于其無接觸、無表面擦傷、無靜電等優(yōu)點具有廣泛的應(yīng)用前景和重要的研究意義。目前非接觸搬運技術(shù)主要有電磁式、超聲波式和空氣懸浮式等幾種方式。其中,空氣懸浮技術(shù)又分為空氣吹浮式和負壓吸附式,本文針對非接觸渦流負壓搬運器的流場特性進行了如下工作： 首先,闡述了非接觸渦流負壓搬運器的工作原理,并推導出流場內(nèi)徑向壓力分布公式。將其結(jié)果與仿真結(jié)果、實驗結(jié)果進行了對比,三者的吻合性較好,驗證了所推導壓力公式的正確性。 其次,采用gambit建立不同結(jié)構(gòu)搬運器三維流場仿真模型,采用非結(jié)構(gòu)化網(wǎng)格劃分方法；在FLUENT軟件中采用RNG k-ε湍流模型進行流場計算；對不同工況條件下的壓力場,速度場、提升力等特性進行了分析,獲得了渦流吸附負壓效應(yīng)影響因素和變化規(guī)律。 此外,為驗證理論數(shù)值仿真的正確性,設(shè)計并搭建了壓力、提升力測試實驗臺,分別對不同結(jié)構(gòu)搬運器及不同工況下搬運器的壓力分布、提升力等特性進行了實驗測試,并將實驗結(jié)果與理論計算、仿真結(jié)果進行對比。 最后,設(shè)計并制作了由多個相同結(jié)構(gòu)搬運器組成的搬運盤,并搭建了搬運實驗臺,進行了搬運效果的測試,實驗驗證了非接觸負壓搬運的可行性。
【圖文】：

圖1.2空氣懸浮式玻璃基板搬運系統(tǒng) Fjg.1.2GlasssubstratehandlingsystemaboutairsusPension圖1.2是日本著名的氣動元件生產(chǎn)商sMC公司的空氣懸浮式玻璃基板搬運系統(tǒng)[3]。該搬運技術(shù)是應(yīng)用流體力學原理，使壓縮流體通過壓力室上的多孔質(zhì)體形成一層氣體膜，流體對工件施加的壓力與工件自身的重量達到平衡而使工件保持平穩(wěn)�？諝鈶腋∈�

空吸附方式來夾持工件，由機器人手臂來實現(xiàn)精密定位與上下料等操作;(3)在不同工位間平板的輸送由托盤或卡匣來存放，并配合機器人手臂在臺架和卡匣之間進行放入和取出操作l3]。如圖1.1就是搬運玻璃基板的機械搬運系統(tǒng)。在傳統(tǒng)搬運技術(shù)中，由于玻璃基板與滾輪、晶片與吸盤進行接觸，玻璃基板和晶片表面不可避免會受到損傷而影響生產(chǎn)品質(zhì)，，所以發(fā)展新型的非接觸搬運技術(shù)己刻不容緩。據(jù)目前掌握的資料所知面板工件的非接觸搬運技術(shù)的研究主要集中在日本、美國、臺灣等發(fā)達國家和地區(qū)131，主要的非接觸搬運技術(shù)有氣動懸浮式、超聲波懸浮式、負壓吸附式等方式。
【學位授予單位】：大連海事大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2010
【分類號】：TH24

【引證文獻】

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1 鄭智劍;路波;江愛青;劉麗嬌;;旋回流氣爪流場特征的數(shù)值分析[J];液壓氣動與密封;2012年07期

2 鄒明明;李小寧;滕燕;;非接觸式真空吸取動態(tài)過程試驗研究[J];液壓與氣動;2011年03期

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1 鄒明明;氣旋式非接觸真空吸取技術(shù)的研究[D];南京理工大學;2011年

本文編號：2650068