【摘要】：通過建立三軸向振動臺運動耦合裝置的傳遞模型,根據(jù)需求頻率范圍合理選擇運動耦合裝置剛度。采用有限元方法求解氣體潤滑問題,仿真分析了供氣壓力和氣膜厚度對氣體靜壓軸承剛度的影響。結(jié)果表明,氣體靜壓軸承的剛度隨著供氣壓力的增大而增大,在特定的供氣壓力下存在一個使氣體靜壓軸承的剛度取得極值的氣膜厚度極值點。在此基礎(chǔ)上,優(yōu)化得到一組滿足運動耦合裝置傳遞特性要求的供氣壓力和氣膜厚度參數(shù),并通過原理樣機進行了驗證。實驗結(jié)果表明,優(yōu)化得出的運動耦合裝置參數(shù)滿足傳遞特性要求。
[Abstract]:By establishing the transfer model of the motion coupling device of the triaxial vibration table, the stiffness of the motion coupling device is reasonably selected according to the demand frequency range. The finite element method is used to solve the problem of gas lubrication. The effects of gas supply pressure and film thickness on the stiffness of aerostatic bearing are simulated and analyzed. The results show that the stiffness of the aerostatic bearing increases with the increase of the gas supply pressure, and there is an extreme point of gas film thickness which makes the stiffness of the aerostatic bearing reach the extreme value under the specific gas supply pressure. On this basis, a set of gas supply pressure and film thickness parameters which meet the requirements of the transmission characteristics of the motion coupling device are optimized, and verified by the principle prototype. The experimental results show that the parameters of the optimized motion coupling device meet the requirements of transmission characteristics.
【作者單位】： 中國計量科學(xué)研究院力學(xué)與聲學(xué)計量科學(xué)研究所;
【基金】：國家自然科學(xué)基金青年基金資助項目(51605461) 中國博士后科學(xué)基金資助項目(2016M591229) 質(zhì)檢公益性行業(yè)科研專項資助項目(201410009)
【分類號】：TH133.36

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本文編號：2437830