【摘要】：在集成電路(Integrated Circuit,IC)制造行業(yè)中,自動物料搬運系統(tǒng)(Automatic Material Handling System,AMHS)有效地提高了生產(chǎn)速度、縮短了生產(chǎn)周期,因此設(shè)計AMHS具有重要意義。文章分析了AMHS控制功能要求,確定了電氣控制總體方案,進(jìn)行了系統(tǒng)供配電方案設(shè)計,尤其是非接觸供電,設(shè)計了關(guān)鍵設(shè)備的電氣控制系統(tǒng)方案。通過分析實際裝置的技術(shù)指標(biāo),表明所設(shè)計的300mm AMHS滿足要求。
[Abstract]:In the Integrated circuit IC manufacturing industry, the automatic material handling system (Automatic Material Handling system can effectively improve the production speed and shorten the production cycle, so it is of great significance to design AMHS. This paper analyzes the requirements of AMHS control function, determines the overall scheme of electrical control, designs the scheme of power supply and distribution, especially non-contact power supply, and designs the scheme of electrical control system for key equipment. By analyzing the technical specifications of the actual device, it is shown that the designed 300mm AMHS meets the requirements.
【作者單位】： 沈陽職業(yè)技術(shù)學(xué)院;沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
【基金】：國家科技重大專項02專項(2014ZX02103005)
【分類號】：TH22;TP273

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本文編號：2165489