本文選題：微電子機械系統(tǒng) + 半球諧振��； 參考：《半導(dǎo)體光電》2017年01期

【摘要】：微電子機械系統(tǒng)(MEMS)半球諧振陀螺是MEMS微陀螺領(lǐng)域的研究熱點,能工作在角速度積分模式下,具有體積小、質(zhì)量輕、功耗低、成本低、對稱性高、Q值高,以及精度高等優(yōu)點。文章給出了一種微型半球諧振陀螺的結(jié)構(gòu),研究了其工作原理以及檢測方法,設(shè)計了一種數(shù)字式MEMS半球諧振陀螺儀的角速度積分工作模式方案及其FPGA實現(xiàn)方法,以完成目前MEMS半球諧振陀螺的角速度積分模式的控制與檢測工作。
[Abstract]:MEMS hemispherical resonator gyroscope is a research hotspot in MEMS micro gyroscope field. It can work in angular velocity integral mode. It has the advantages of small volume, light weight, low power consumption, low cost, high symmetry and high precision. In this paper, the structure of a miniature hemispherical resonant gyroscope is presented, and its working principle and detection method are studied. A scheme of angular velocity integral working mode of digital MEMS hemispherical resonant gyroscope and its FPGA implementation method are designed. In order to complete the current MEMS hemispherical resonator gyroscope angular velocity integration mode control and detection work.
【作者單位】： 上海航天控制技術(shù)研究所慣性工程技術(shù)研究中心;上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院微米/納米加工技術(shù)國家級重點實驗室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點實驗室上海市北斗導(dǎo)航與位置服務(wù)重點實驗室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(61574093) 中國航天科技創(chuàng)新基金項目CASC(11GFZ-JJ01-309) 教育部新世紀(jì)人才資助計劃項目(NCET-10-0583) 科學(xué)基金項目(2013ZC57003) 預(yù)研基金項目(9140A14010511JW0304) 國家重點實驗室基金項目(9140C790405110C7904)
【分類號】：V441;TH-39

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本文編號：2036411