全球MEMS傳感器技術創(chuàng)新現狀與趨勢——基于2000-2014年專利分析
本文關鍵詞:全球MEMS傳感器技術創(chuàng)新現狀與趨勢——基于2000-2014年專利分析
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【摘要】:以MEMS傳感器為主要研究對象,基于德溫特專利數據庫中收錄的優(yōu)先權年為2000-2014年的MEMS傳感器相關專利數據,以發(fā)展速度不同劃分為三個階段,分別討論各階段傳感器類型、IPC分布以及專利權人分布的變化情況。結果表明MEMS傳感器為市場導向型技術,不同階段的研究重點與該階段的市場需求有著緊密的聯系,我國MEMS傳感器在技術創(chuàng)新的同時應加快產業(yè)化的步伐。
【作者單位】: 中國科學技術信息研究所;
【關鍵詞】: MEMS 微機電系統 專利分析 傳感器 創(chuàng)新趨勢
【基金】:國家科技圖書文獻中心(NSTL)重大專項服務資助項目“核心電子器件高端通用芯片和基礎軟件產品重大專項服務”(2014XM053)
【分類號】:TP212;G306
【正文快照】: MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。與傳統的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。同時,微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。第一個微型
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1 ADI微機械產品線高級應用工程師 趙延輝;MEMS傳感器走向低功耗、集成化[N];中國電子報;2012年
,本文編號:722543
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