微型熱式流量傳感器專利技術綜述
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【部分圖文】:
圖1申請量年度分布圖
圖3為專利申請原創(chuàng)國和地區(qū)/目標國和地區(qū),由圖中可以看出,在原創(chuàng)國和地區(qū)中,日本專利申請量居于首位,美國技術產(chǎn)出比重僅次于日本,居于第二位,其次是德國和中國,分別位居第三位和第四位。以上排名基本體現(xiàn)了目前國際上微型熱式流量傳感器在各個國家的技術能力。根據(jù)專利申請的公開號進行分析,....
圖3原創(chuàng)國和地區(qū)/目標國和地區(qū)
進入20世紀90年代后,由于微加工工藝和微電子工藝的成熟,這一時期的專利申請較多,涉及不同結構和多種材料的改進,例如微型熱線風速計、微型熱膜探頭、微型熱分布式流量傳感器等。在傳感器件的材料上也有了更多選擇,除了金屬薄膜電阻外,還可以采用多晶硅摻雜形成加熱元件;而對于熱敏感元件,可....
圖4技術演進路線
圖3原創(chuàng)國和地區(qū)/目標國和地區(qū)此后一段時期,由于微加工工藝和微電子工藝趨于成熟,這一時期的專利申請量有所回落,且對于微型熱式流量傳感器的研究逐漸傾向于信號處理和溫度補償方面,主要涉及測量電路的優(yōu)化、流量信號的補償和校正以及多維度測量。未來微型熱式流量傳感器將朝向微型化、智能化、....
圖2申請量區(qū)域分布
為了比較各國在微型熱式流量傳感器技術領域的研發(fā)能力與水平,對專利申請所在國家和地區(qū)產(chǎn)權組織分布進行統(tǒng)計,如圖2所示,可以看出,日本、美國、德國和中國申請量較高,共同占據(jù)了所有專利申請的86%,其中日本占37%,美國占21%,德國占16%,中國占12%。這主要是因為日本、美國、德國....
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